Herstellung von dünnen Schichten aus Titannitrid (TIN) durch ALD-Verfahren
ALD-Verfahren zur Herstellung von dünnen Schichten aus Titannitrid (TiN) durch Atomlagenabscheidung (ALD)
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Vorteile von Siliziumnitridschichten:
Unsere Produktvorteile:
Unsere Siliziumnitrid-Trägerschichten werden mit den modernsten Halbleiter- und MEMS-Fertigungstechnologien hergestellt. Amorphe Siliziumnitrid-Trägerschichten werden auf Siliziumwafern bis zur gewünschten Schichtdicke von 10, 20, 30, 50, 100 oder 200 nm gezüchtet.
Der Sichtbereich für die Probe wird durch Wegätzen eines Fensters im Siliziumsubstrat geschaffen, so dass ein vollkommen glatter, flexibler und chemisch stabiler Siliziumnitridfilm übrig bleibt. Der Rahmen wird aus einer 3 mm dicken Siliziumscheibe hergestellt. Er ist ideal für Standard-TEM-Halterungen geeignet. Die Standarddicke des Siliziumrahmens beträgt 100µm/200µm, was für die meisten TEM-Halterungen geeignet ist.
ALD-Verfahren zur Herstellung von dünnen Schichten aus Titannitrid (TiN) durch Atomlagenabscheidung (ALD)
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