Herstellung von dünnen Schichten aus Titannitrid (TIN) durch ALD-Verfahren
ALD-Verfahren zur Herstellung von dünnen Schichten aus Titannitrid (TiN) durch Atomlagenabscheidung (ALD)
Perforierte Siliziumnitrid-Folienfenster
Bessere Belüftungs- und Flüssigkeitsdurchlässigkeit als herkömmliche Siliziumnitrid-Folienfenster, wodurch sie sich besser für Anwendungen eignen, die Flüssigkeitstransfer und Belüftung erfordern
Datenblatt
Siliziumnitrid-Dünnschichtfenster Produktblatt
Einzelheiten zum Produkt
Verkaufende Einheiten
10Stück/Packung
Chip-Größe
Durchmesser 3 mm, 5 mm, 10 mm
Dicke der Späne
200 μm
Dicke der Folie
15 nm, 20 nm, 30 nm, 50 nm, 100 nm, 200 nm
Größe des Fensters
0,01 x 0,01, 0,05 x 0,05, 0,5 x 0,5, 1 x 1 mm
Anzahl der Fenster
1Stück
Größe der Blende
Mikron-Poren, Nanoporen
Stressbedingungen
<250MPa
Vorteile von Siliziumnitridschichten:
- Säure- und alkalibeständig: Die Proben können unter sauren und alkalischen Bedingungen manipuliert und untersucht werden.
- Hohe Temperaturbeständigkeit: Die Folien können Temperaturen von bis zu 1000°C standhalten.
- Kohlenstofffrei, leicht zu reinigen
- Große Vision
- Unterstützung für eine breite Palette von Mikroskopen: z. B. TEM, SEM, FIB, EDX, Auger, XPS und AFM/SPM
Unsere Produktvorteile:
- Robuste Siliziumnitridschichten in Dicken von 10, 20, 30, 50, 100 und 200 nm
- Standardspezifikation: vollständig kompatibel mit Standard 3,05 mm TEM-Halterungen
- Erhältlich in Standard 200 µm und dünneren 100 µm Rahmenstärken
- Hydrophile/hydrophobe Siliziumnitrid-Schichten sind auf Anfrage erhältlich
- Saubere, extrem flache Siliziumnitridschicht
- Mit hoher Festigkeit und Ebenheit
- Geringe Belastung
Perforierte Siliziumnitrid-Folienfenster haben gegenüber normalen Siliziumnitrid-Folienfenstern ohne Perforation folgende Vorteile:
Verbesserte Materialtransmission: Perforierte Siliziumnitrid-Folienfenster haben eine hohe Transmissionsrate, da die Löcher die Wahrscheinlichkeit verringern, dass Licht von der Folie absorbiert wird, wodurch die Transmissionsrate erhöht wird.
Verbesserte Probenahmegeschwindigkeit: Die Öffnungen im Fenster der perforierten Siliziumnitridfolie fördern die Belüftung der Probe und verringern die Isolierung zwischen Probe und Umgebung, wodurch die Zeit für die Datenerfassung verkürzt wird. Dies ist ein Vorteil bei Anwendungen, die eine hohe Belüftung und Erfassungsgeschwindigkeit erfordern.
Verbesserte Materialstabilität: Die perforierten Siliziumnitrid-Dünnschichtfenster werden so hergestellt, dass die Eigenspannung und der thermische Ausdehnungskoeffizient des Materials aufgrund seiner gut durchdachten Struktur reduziert werden, wodurch die Stabilität und Zuverlässigkeit des Materials verbessert wird.
Verbesserte Haltbarkeit: Das Fenster aus perforierter Siliziumnitridfolie ist strukturell so konzipiert, dass es korrosions- und verschleißbeständiger ist. Dies verschafft ihr einen Vorteil bei Anwendungen, die eine lange Nutzungsdauer erfordern.
Verbesserter Fluss: Die große offene Fläche des perforierten Siliziumnitrid-Filmfensters ermöglicht einen verbesserten Fluss. Dies verschafft ihm einen Vorteil bei Anwendungen, die hohe Flussmittel erfordern.
Zusammenfassend lässt sich sagen, dass Siliziumnitrid-Dünnschichtfenster mit Löchern bessere optische Eigenschaften aufweisen als gewöhnliche Siliziumnitrid-Dünnschichtfenster ohne Löcher. Aus diesem Grund sind perforierte Siliziumnitrid-Filmfenster oft die bevorzugte Wahl für Anwendungen zur Materialcharakterisierung.
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