Herstellung von dünnen Schichten aus Titannitrid (TIN) durch ALD-Verfahren
Herstellung von dünnen Schichten aus Titannitrid (TiN) im ALD-Verfahren Dünne Schichten aus Titannitrid (TiN), die im ALD-Verfahren hergestellt werden, weisen eine hohe Härte und eine niedrige Temperatur auf.