1.0Harbor Semiconductorhttps://www.nanofab.com.cn/rurich600338<blockquote class="wp-embedded-content" data-secret="8ctnFtNClZ"><a href="https://www.nanofab.com.cn/ru/понимание-2/application/причины-влияющие-на-степень-деформац/">Поликремниевая тонкая пленка丨Различные причины, влияющие на деформацию пластин</a></blockquote><iframe sandbox="allow-scripts" security="restricted" src="https://www.nanofab.com.cn/ru/понимание-2/application/причины-влияющие-на-степень-деформац/embed/#?secret=8ctnFtNClZ" width="600" height="338" title=""Поликремниевая тонкая пленка丨Варианты причин, влияющих на деформацию пластин" - Harbor Semiconductor" data-secret="8ctnFtNClZ" frameborder="0" marginwidth="0" marginheight="0" scrolling="no" class="wp-embedded-content"></iframe><script> /*! This file is auto-generated */ !function(d,l){"use strict";l.querySelector&&d.addEventListener&&"undefined"!=typeof URL&&(d.wp=d.wp||{},d.wp.receiveEmbedMessage||(d.wp.receiveEmbedMessage=function(e){var t=e.data;if((t||t.secret||t.message||t.value)&&!/[^a-zA-Z0-9]/.test(t.secret)){for(var s,r,n,a=l.querySelectorAll('iframe[data-secret="'+t.secret+'"]'),o=l.querySelectorAll('blockquote[data-secret="'+t.secret+'"]'),c=new RegExp("^https?:$","i"),i=0;i<o.length;i++)o[i].style.display="none";for(i=0;i<a.length;i++)s=a[i],e.source===s.contentWindow&&(s.removeAttribute("style"),"height"===t.message?(1e3<(r=parseInt(t.value,10))?r=1e3:~~r<200&&(r=200),s.height=r):"link"===t.message&&(r=new URL(s.getAttribute("src")),n=new URL(t.value),c.test(n.protocol))&&n.host===r.host&&l.activeElement===s&&(d.top.location.href=t.value))}},d.addEventListener("message",d.wp.receiveEmbedMessage,!1),l.addEventListener("DOMContentLoaded",function(){for(var e,t,s=l.querySelectorAll("iframe.wp-embedded-content"),r=0;r<s.length;r++)(t=(e=s[r]).getAttribute("data-secret"))||(t=Math.random().toString(36).substring(2,12),e.src+="#?secret="+t,e.setAttribute("data-secret",t)),e.contentWindow.postMessage({message:"ready",secret:t},"*")},!1)))}(window,document); //# sourceURL=https://www.nanofab.com.cn/wp-includes/js/wp-embed.min.js </script>https://www.nanofab.com.cn/wp-content/uploads/2024/04/39eab4126e833fe2e5a396e60db9ef0.png780490由于薄膜制备工艺、热处理过程和膜厚要求的不同，造成薄膜内部不同的应力状态，沉积薄膜的衬底抛光后几何参数也具有不同的大小。可以恰当选择制备薄膜的工艺条件、热处理过程实现对薄膜残余应力的控制，同时根据膜厚要求的不同，推算出衬底抛光后翘曲度的变化情况，对产品的加工能力进行适当的评估。