어닐링 공정이 백금 저항에 미치는 영향

2024-06-26

고정밀 온도 측정 분야에서 박막 백금 저항기는 높은 안정성과 높은 정확도로 인해 기존의 권선 백금 저항기를 점차 대체하고 있습니다. 어닐링 공정은 박막 백금 저항기의 성능을 최적화하는 핵심 단계이며, 합리적인 어닐링 공정을 통해 백금 박막의 열 저항을 크게 개선할 수 있습니다.

백금 저항기 준비

플래티넘 저항기를 준비하는 과정은 일반적으로 다음 단계로 구성됩니다:

인쇄물 준비
포토리소그래피
마그네트론 스퍼터링 증착
재처리
가열(어닐링(야금))거래

어닐링 프로세스의 영향

열 안정성

어닐링 처리는 필름의 열 안정성을 향상시켜 고온 환경에서 보다 일관되게 작동하도록 합니다.
고온 어닐링은 필름의 응력을 제거하고 온도 변화 시 구조적 변형을 방지합니다.
고온 환경에서 센서의 신뢰성과 수명을 개선합니다.

열 전도성

어닐링하는 동안 입자 성장과 결정 품질 개선으로 필름의 열전도율이 향상됩니다.
입자가 크고 결정성이 높은 필름은 열 전도성이 우수하고 열 저항이 감소합니다.
센서의 응답 속도와 정확도를 개선하여 온도 변화를 더 빠르게 반영할 수 있도록 합니다.

온도 저항 계수(TCR)

어닐링 처리는 백금 필름의 온도 저항 계수(TCR)를 증가시켜 저항 값을 온도 변화에 더 민감하게 만듭니다.
TCR 값이 높을수록 온도 변화에 대한 센서의 감도가 높아집니다.
센서의 감도와 정확도를 개선하면 온도 변화를 더 정확하게 측정할 수 있습니다.

저항 안정성

어닐링은 필름의 결함 및 불균일성을 줄이고 저항 드리프트를 줄입니다.
어닐링된 필름 구조가 더 안정적이고 저항값이 더 안정적입니다.
장기간에 걸쳐 센서의 안정성과 신뢰성을 개선하고 유지보수 요구 사항을 줄입니다.

어닐링 프로세스를 개선하는 방법

어닐링 공정은 가열 및 유지 처리를 통해 백금 필름의 미세 구조와 내열 특성을 크게 개선합니다.

어닐링 온도가 특성에 미치는 영향500~600°C 사이로 어닐링 온도가 높을수록 감도가 높아지고 선형성이 향상되며, 실제 적용 환경에 따라 조정할 수 있습니다.
보유 시간의 효과500°C에서 60분간 유지하면 감도와 선형성을 크게 향상시킬 수 있습니다. 그러나 500°C 이상으로 유지 시간이 길어지면 성능이 저하됩니다.
기판 거칠기의 영향기판 거칠기(예: 230nm)가 높을수록 감도가 크게 향상될 수 있지만 필름 연속성에 영향을 미치지 않도록 합리적인 한도 내에서 유지해야 합니다.

플래티넘 도금 중 어닐링 공정에 대해 궁금한 점이 있거나 추가 정보가 필요하면 언제든지 문의해 주세요. 당사는 고객에게 고품질, 고성능 솔루션을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다.

당사는 다음을 제공합니다. 마그네트론 스퍼터링 파운드리 커스터마이징 서비스에 댓글을 남겨 주세요.