LPCVD와 PECVD의 차이점
저압 환경에서 고온으로 작동함으로써 LPCVD와 PECVD의 차이점 L
양전자 소멸 수명 스펙트럼(PALS)
재료에서 양전자의 소멸 수명(~100 ps-10 ns)을 정확하게 측정하고 공석 유형 결함(단일 공석, 공석 클러스터, 미세 기공)의 농도, 크기 및 분포를 정량적으로 특성화합니다. 결정성, 비정질, 폴리머, 나노 물질 등 다양한 시스템에 적용 가능하며 나노미터 미만의 분해능을 제공합니다. 도플러 확산 스펙트럼(CDBS) 준수
듀얼 검출기 컨포멀 측정 기술을 통해 높은 신호 대 잡음 소멸 광자 에너지 확장 스펙트럼을 얻고, 물질의 페르미 에너지 준위 근처의 전자 운동량 분포를 해결합니다. 원소별 결함(예: 불순물-공석 복합체)을 식별할 수 있어 화학 환경과 전자 구조를 매우 민감하게 감지할 수 있습니다.
반도체 재료: 웨이퍼의 조사 결함, 도펀트-공백 복합체 분석, 전력 소자의 계면 결함 특성 분석.
금속 및 합금: 피로/조사/변형에 의한 공극 진화 메커니즘 연구, 고온 합금의 크리프 손상 조기 진단.
에너지 재료: 리튬 이온 배터리용 전극 재료의 리튬 이온 임베딩/디임베딩 결함, 핵융합로 재료(예: 텅스텐)의 헬륨 기포 거동 모니터링.
나노 및 다공성 재료: 나노 입자 크기 분포 및 표면 활성 사이트 분석.
고분자 및 생체 재료: 생분해성 재료의 미세한 노화 과정을 추적합니다.
시간 분해능: 수명 측정 시간 분해능 ≤155ps(Co-60 과도 피크, Na-22 창 조건 FWHM).
검출기 에너지 분해능: 수명 측정(Na-22 소스): ≤12%(1.275 MeV 피크); 고순도 게르마늄 검출기(Co-60 소스): ≤1.90keV(1.332 MeV 피크).
데이터 수집 성능: 수명 측정 시간 샘플링 속도 ≥ 5G/SPS, 진폭 분해능 ≥ 14비트, 수명 측정 횟수 ≥ 100cps, 고순도 게르마늄 검출기 효율: ≥ 25%.
자동화된 프로세스: 원터치 조작으로 완전 자동화된 측정 프로세스가 시작되고, 시스템이 최적의 파라미터를 지능적으로 매칭하여 자동 보정을 수행합니다.
스펙트럼 안정성: 장시간 측정의 에너지 스펙트럼 드리프트 실시간 보정, Co-60 방사능원(1.332MeV 피크), 드리프트 속도 ≤ 0.01%/h로 검증되었습니다.
멀티 모드 디스플레이 시스템: 선형/대수 좌표계 전환 지원, 듀얼 디텍터 에너지 스펙트럼을 독립적으로 표시하고 에너지 스펙트럼과 수명 스펙트럼을 다중 창 보기로 동시에 표시할 수 있습니다.
지능형 스펙트럼 분석 기능: 스펙트럼 정보(시작 시간, 측정 기간, 데드 타임, 총 카운트)의 완전한 기록, 정확한 ROI 경계 설정, 피크 위치, 절반 높이 및 전체 폭, ROI 영역의 자동 피크 검색 및 계산, 피크 파라미터를 해결하기 위한 가우스 피팅 알고리즘을 기반으로 함. - 피크 파라미터를 해결하기 위해 가우시안 피팅 알고리즘을 사용합니다.
재료 결함 및 자유 부피 분석: 금속/반도체 재료의 결함 상태 포착률 측정과 폴리머 자유 부피 반경 및 자유 부피 비율 특성화를 지원합니다.
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저압 환경에서 고온으로 작동함으로써 LPCVD와 PECVD의 차이점 L
광학 코팅 기술의 원리 및 응용 광학 코팅의 공정 원리는 주로 광학 요소에 관여합니다.
어닐링 공정이 백금 저항기에 미치는 영향 고정밀 온도 측정 분야에서 박막형 백금 저항기는 다음과 같은 이유로 사용됩니다.
마그네트론 스퍼터링 丨 백금 온도 센서를 만드는 과정 현대 기술에서 온도 센서는 다음과 같습니다.