{"id":7761,"date":"2024-04-19T16:49:46","date_gmt":"2024-04-19T08:49:46","guid":{"rendered":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/?p=7761"},"modified":"2024-05-13T10:16:53","modified_gmt":"2024-05-13T02:16:53","slug":"the-reason-of-influencing-the-warping-degree-of-silicon-wafer","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/einblick-2\/application\/der-grund-des-einflusses-auf-den-warming-grad-von-siliziumwafern-2\/","title":{"rendered":"Polysilizium-D\u00fcnnfilm\u4e28Verschiedene Gr\u00fcnde f\u00fcr Waferverzug"},"content":{"rendered":"<div data-elementor-type=\"wp-post\" data-elementor-id=\"7761\" class=\"elementor elementor-7761\" data-elementor-post-type=\"post\">\n\t\t\t\t\t\t<section class=\"elementor-section elementor-top-section elementor-element elementor-element-a8a5b91 elementor-section-boxed elementor-section-height-default elementor-section-height-default\" data-id=\"a8a5b91\" data-element_type=\"section\" data-settings=\"{&quot;jet_parallax_layout_list&quot;:[]}\">\n\t\t\t\t\t\t<div class=\"elementor-container elementor-column-gap-default\">\n\t\t\t\t\t<div class=\"elementor-column elementor-col-100 elementor-top-column elementor-element elementor-element-3a4b8ae\" data-id=\"3a4b8ae\" data-element_type=\"column\">\n\t\t\t<div class=\"elementor-widget-wrap elementor-element-populated\">\n\t\t\t\t\t\t<section class=\"elementor-section elementor-inner-section elementor-element elementor-element-b539f84 elementor-section-boxed elementor-section-height-default elementor-section-height-default\" data-id=\"b539f84\" data-element_type=\"section\" data-settings=\"{&quot;jet_parallax_layout_list&quot;:[]}\">\n\t\t\t\t\t\t<div class=\"elementor-container elementor-column-gap-no\">\n\t\t\t\t\t<div class=\"elementor-column elementor-col-50 elementor-inner-column elementor-element elementor-element-62a8e5d\" data-id=\"62a8e5d\" data-element_type=\"column\">\n\t\t\t<div class=\"elementor-widget-wrap elementor-element-populated\">\n\t\t\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-3b2329d elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"3b2329d\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t<style>\/*! elementor - v3.20.0 - 20-03-2024 *\/\n.elementor-heading-title{padding:0;margin:0;line-height:1}.elementor-widget-heading .elementor-heading-title[class*=elementor-size-]>a{color:inherit;font-size:inherit;line-height:inherit}.elementor-widget-heading .elementor-heading-title.elementor-size-small{font-size:15px}.elementor-widget-heading .elementor-heading-title.elementor-size-medium{font-size:19px}.elementor-widget-heading .elementor-heading-title.elementor-size-large{font-size:29px}.elementor-widget-heading .elementor-heading-title.elementor-size-xl{font-size:39px}.elementor-widget-heading .elementor-heading-title.elementor-size-xxl{font-size:59px}<\/style><h1 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">Polykristalline Silizium-D\u00fcnnschichten\u4e28Gr\u00fcnde, die den Verzug von Siliziumscheiben beeinflussen<\/h1>\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-22b678f elementor-widget elementor-widget-post-info\" data-id=\"22b678f\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"post-info.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t<link rel=\"stylesheet\" href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/plugins\/elementor\/assets\/css\/widget-icon-list.min.css\"><link rel=\"stylesheet\" href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/plugins\/elementor-pro\/assets\/css\/widget-theme-elements.min.css\">\t\t<ul class=\"elementor-icon-list-items elementor-post-info\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t<li class=\"elementor-icon-list-item elementor-repeater-item-577f4c4\" itemprop=\"datePublished\">\n\t\t\t\t\t\t<a href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/2024\/04\/19\/\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<span class=\"elementor-icon-list-text elementor-post-info__item elementor-post-info__item--type-date\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<time>2024-04-19<\/time>\t\t\t\t\t<\/span>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/a>\n\t\t\t\t<\/li>\n\t\t\t\t<\/ul>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-129eae1 elementor-widget elementor-widget-image\" data-id=\"129eae1\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"image.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t<style>\/*! elementor - v3.20.0 - 20-03-2024 *\/\n.elementor-widget-image{text-align:center}.elementor-widget-image a{display:inline-block}.elementor-widget-image a img[src$=\".svg\"]{width:48px}.elementor-widget-image img{vertical-align:middle;display:inline-block}<\/style>\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<img fetchpriority=\"high\" decoding=\"async\" width=\"780\" height=\"490\" src=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/04\/39eab4126e833fe2e5a396e60db9ef0.png\" class=\"attachment-large size-large wp-image-7762\" alt=\"\" srcset=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/04\/39eab4126e833fe2e5a396e60db9ef0.png 780w, https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/04\/39eab4126e833fe2e5a396e60db9ef0-300x188.png 300w, https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/04\/39eab4126e833fe2e5a396e60db9ef0-768x482.png 768w, https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/04\/39eab4126e833fe2e5a396e60db9ef0-18x12.png 18w\" sizes=\"(max-width: 780px) 100vw, 780px\" \/>\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-5ed3ccd elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"5ed3ccd\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t<style>\/*! elementor - v3.20.0 - 20-03-2024 *\/\n.elementor-widget-text-editor.elementor-drop-cap-view-stacked .elementor-drop-cap{background-color:#69727d;color:#fff}.elementor-widget-text-editor.elementor-drop-cap-view-framed .elementor-drop-cap{color:#69727d;border:3px solid;background-color:transparent}.elementor-widget-text-editor:not(.elementor-drop-cap-view-default) .elementor-drop-cap{margin-top:8px}.elementor-widget-text-editor:not(.elementor-drop-cap-view-default) .elementor-drop-cap-letter{width:1em;height:1em}.elementor-widget-text-editor .elementor-drop-cap{float:left;text-align:center;line-height:1;font-size:50px}.elementor-widget-text-editor .elementor-drop-cap-letter{display:inline-block}<\/style>\t\t\t\t<p>In vielen F\u00e4llen k\u00f6nnen die Spannungen zu unerw\u00fcnschten Ergebnissen f\u00fchren. Das gr\u00f6\u00dfte Problem bei der Verwendung von LPCVD zur Abscheidung von polykristallinen Silizium-D\u00fcnnschichten f\u00fcr die Tr\u00fcmmerabsorption besteht darin, dass die Spannungen innerhalb der Schicht ein hohes Ma\u00df an Verformung des Wafers verursachen k\u00f6nnen.<\/p>\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-b448466 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"b448466\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">Gr\u00fcnde f\u00fcr den Waferverzug<\/h2>\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-83b3402 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"83b3402\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t<h2>Einfluss der Depositionstemperatur auf den Waferverzug<\/h2>\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-dc8b0bd elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"dc8b0bd\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t<p>Der Verzug von Wafern mit aufgebrachter D\u00fcnnschicht ist viel gr\u00f6\u00dfer als der von Wafern ohne D\u00fcnnschicht nach dem Polieren, und der Verzug der Wafer wird geringer, wenn die Temperatur der D\u00fcnnschichtabscheidung steigt.<\/p><p>Da die Polysiliziumschicht beidseitig abgeschieden wird, wird nach dem Polieren die einseitige Schicht entfernt, was aufgrund der inneren Spannung der Schicht zu einer st\u00e4rkeren Kr\u00fcmmung f\u00fchrt.<\/p><p>Zweitens hat die Eigenspannung des Polysiliziumfilms nach der Analyse der Spannungstheorie eine enge Beziehung zu seiner Mikrostruktur, die stark von den Ablagerungsbedingungen abh\u00e4ngt. Bei niedrigen Temperaturen ist die Abscheidungsrate langsam, da die sehr geringe kinetische Energie der Siliziumatome dazu f\u00fchrt, dass sie sich an der Grenze der kleineren, feinen K\u00f6rner ablagern, die schwache Bindung zwischen dem Film und dem Substrat erzeugt kleine Zugspannungen, und die Leerstellen, Defekte usw. sind ebenfalls eine Quelle von Spannungen. Mit steigender Abscheidungstemperatur nimmt die kinetische Energie zu, was zur Bildung von Inseln und Agglomerationen f\u00fchrt, die gr\u00f6\u00dfere Kerne bilden, was eine Volumenverringerung und einen Anstieg der Spannung zur Folge hat, was wiederum zu Druckspannungen f\u00fchrt. Ein weiterer Anstieg der Temperatur, der Oberfl\u00e4chenenergie und des Kornwachstums f\u00fchrt zur Diffusion von Atomen zwischen den Korngrenzen und zur Erh\u00f6hung der Druckspannung. Bei einer Ablagerung zwischen 580 und 610 \u00b0C kann das Innere der Schicht von Zug- auf Druckspannung umschalten. Wenn die Temperatur weiter ansteigt, wachsen die K\u00f6rner zu S\u00e4ulen, die Atome dehnen die vertikale Wachstumsrichtung aus, und die Druckspannung nimmt allm\u00e4hlich ab. Da die Biegerichtung der Proben die gleiche ist, kann man feststellen, dass sich das Innere der Folie innerhalb eines bestimmten Temperaturbereichs als Druckspannung manifestiert und die Druckspannung mit steigender Temperatur abnimmt.<\/p><p>Da w\u00e4hrend der Abscheidung von Polysilizium keine zus\u00e4tzlichen Spannungen durch andere Schichten auftreten, kann die Gesamtbelastung der Schicht vereinfacht als die Summe der inneren und thermischen Spannungen betrachtet werden, wobei die Temperatur der Hauptfaktor ist, der die thermischen Spannungen beeinflusst, und eine Erh\u00f6hung der Abscheidungstemperatur zu einem Anstieg der inneren Spannungen der Schicht f\u00fchrt.<\/p><p>Es zeigt sich, dass die bei hohen Temperaturen abgeschiedenen polykristallinen Siliziumschichten relativ geringe Waferverzugswerte aufweisen, was beweist, dass die Gesamtspannung der Schichten haupts\u00e4chlich von den inneren Spannungen beeinflusst wird, die stark von den Temperatur\u00e4nderungen abh\u00e4ngen. Unter der Voraussetzung, dass die Oberfl\u00e4chenqualit\u00e4t den Anforderungen entspricht, kann der Verzug von Siliziumwafern durch eine angemessene Erh\u00f6hung der Abscheidungstemperatur verbessert werden.<\/p>\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-91fb539 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"91fb539\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t<h2>Einfluss der Schichtdicke auf den Waferverzug<\/h2>\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-3b0940e elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"3b0940e\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t<p>Ein Gro\u00dfteil der sich daraus ergebenden Ver\u00e4nderung des Verzugs mit der Schichtdicke kann mit der Entwicklung der inneren Spannungen beim Schichtwachstum zusammenh\u00e4ngen. Die Folie ist zun\u00e4chst Druckspannungen ausgesetzt, die dann allm\u00e4hlich in Zugspannungen und schlie\u00dflich wieder in Druckspannungen \u00fcbergehen. Dieses Verhalten steht in engem Zusammenhang mit dem Wachstumsprozess w\u00e4hrend der Abscheidungsphase des Films. In der Anfangsphase w\u00e4chst der Film in Form von diskreten Clustern oder Inseln auf der Substratoberfl\u00e4che, und diese Inseln weisen typischerweise Druckspannungen auf, die auf Oberfl\u00e4chen- oder Grenzfl\u00e4chenspannungen zur\u00fcckzuf\u00fchren sind, die den Gitterabstand zwischen den relativ kleinen Einzelk\u00f6rnern verringern. In der zweiten Phase wachsen die Inseln so, dass sie beginnen, miteinander in Kontakt zu kommen, was zur Bildung von Korngrenzen f\u00fchrt und somit die Zugspannungen in der Schicht ansteigen l\u00e4sst. Die Aggregation der Inseln ist ein umgekehrter elastischer Bruchmechanismus, die intergranulare Grenze wird als Riss betrachtet, und das System kann seine freie Energie verringern, indem es sich diesem Riss n\u00e4hert, indem es die hohe Oberfl\u00e4chenenergie durch eine niedrigere Grenzfl\u00e4chenenergie ersetzt. Durch die Ann\u00e4herung an den Riss oder die Korngrenze wird das Filmmaterial einer Zugspannung unterworfen. In der dritten Stufe werden mit zunehmender Dicke des Films die Oberfl\u00e4chenatome auf die intergranularen Grenzen \u00fcbertragen und bilden einen kontinuierlichen Film, und die Filmspannung beginnt abzunehmen, wobei sie allm\u00e4hlich von einer Zugspannung in eine Druckspannung \u00fcbergeht, die mit der Dicke zunimmt. Da die Reaktionsbedingungen bis auf die unterschiedlichen Schichtdicken identisch sind, sind auch die thermischen Spannungen der Schichten gleich. Daher wird die gesamte Spannungs\u00e4nderung durch die Eigenspannung des Films bestimmt.<\/p><p>Es besteht die Tendenz, dass der Verzug der Substratwafer mit zunehmender Schichtdicke kleiner wird. Dies steht in guter \u00dcbereinstimmung mit der dritten Stufe der Entwicklung der inneren Spannungen in der Schicht w\u00e4hrend des Wachstumsprozesses. Daher wird die Verformung der Substratwafer unter bestimmten Bedingungen mit einer weiteren Zunahme der Schichtdicke noch abnehmen.<\/p>\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-4f54660 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"4f54660\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">Auswirkung des Gl\u00fchprozesses auf den Verzug von polykristallinen, r\u00fcckseitig versiegelten Wafern<\/h2>\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-89a9664 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"89a9664\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t<h2>Einfluss der Gl\u00fchtemperatur auf den Verzug von polykristallinen, r\u00fcckseitig versiegelten Wafern<\/h2>\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-0509bb6 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"0509bb6\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t<p>Nach der beidseitigen Abscheidung von Mehrprodukt-Siliziumschichten auf der Oberfl\u00e4che von s\u00e4urege\u00e4tzten Wafern mit dem LPCVD-Verfahren war der Verzug der Wafer vor und nach dem Gl\u00fchen im Wesentlichen unver\u00e4ndert. Nach dem einseitigen Polieren vergr\u00f6\u00dferte sich der Verzug des Substratwafers erheblich. Mit zunehmender Gl\u00fchtemperatur nimmt der Verzug jedoch tendenziell ab, und bei etwa 1000\u2103 liegt der kritische Punkt f\u00fcr die drastische Ver\u00e4nderung des Verzugs, und durch Gl\u00fchen bei mehr als 1000\u2103 kann eine wirksame Kontrolle des Verzugs erreicht werden.<\/p><p>W\u00e4hrend des Schichtwachstums f\u00fchren niedrige Prozesstemperaturen zu einer verringerten Oberfl\u00e4chendiffusion, die es den absorbierten Siliziumatomen unm\u00f6glich macht, in das Gleichgewicht der niedrigsten Energie eingebettet zu werden. Aus diesem Grund weisen die Schichten im abgeschiedenen Zustand viele Punktdefekte, Leerstellen, Versetzungen, intergranulare Grenzen, aufgebaute Spannungen usw. auf. Mit zunehmender Gl\u00fchtemperatur werden die Leerstellen mobil und driften in die Versetzungen, die ebenfalls aktiviert werden und sich durch Kriechen und Gleiten zur freien Oberfl\u00e4che bewegen, wodurch die Spannungen freigesetzt werden. Da die Defektdichte abnimmt, wird der gesamte Film dicht. Das durch die Oberfl\u00e4chenenergie angetriebene Kornwachstum und die damit einhergehende Keimneubildung setzen sich w\u00e4hrend des Gl\u00fchens fort. W\u00e4hrend die K\u00f6rner wachsen, werden die kleineren K\u00f6rner von den benachbarten gr\u00f6\u00dferen K\u00f6rnern aufgezehrt, wodurch ihr Fl\u00e4chenverh\u00e4ltnis allm\u00e4hlich gr\u00f6\u00dfer wird. Folglich nimmt mit steigender Gl\u00fchtemperatur der Spannungsabbau innerhalb der Schicht zu und der Verzug des Wafers ab.<\/p>\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-58b6b9a elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"58b6b9a\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t<h2>Auswirkung der Gl\u00fchzeit auf den Verzug von polykristallinen, r\u00fcckseitig versiegelten Wafern<\/h2>\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-e0d356d elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"e0d356d\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t<p>Bei einer Gl\u00fchtemperatur von 900 \u00b0C nimmt die Verformung der Wafer mit der Gl\u00fchzeit ab, aber auch der Umfang der Ver\u00e4nderung nimmt ab. Bei Gl\u00fchtemperaturen von 1000\u00b0C und 1100\u00b0C \u00e4ndert sich der Verzug der Wafer mit der Gl\u00fchzeit nur sehr wenig. Unter den gleichen Bedingungen ist der Verzug bei 1000\u2103 jedoch etwas gr\u00f6\u00dfer als bei 1100\u2103, und der Unterschied zwischen den beiden ist bei 900\u2103 gr\u00f6\u00dfer. Wenn die Gl\u00fchtemperatur niedrig ist, ist die Bewegung der Atome relativ langsam, der Spannungsabbau erfolgt verz\u00f6gert, eine angemessene Erh\u00f6hung der Gl\u00fchzeit kann dazu f\u00fchren, dass sich die Atome \u00fcber eine l\u00e4ngere Strecke bewegen, um den Spannungsabbaupunkt zu erreichen, wodurch der Verzug leicht verbessert werden kann. Die Gl\u00fchtemperatur wirkt sich sehr g\u00fcnstig auf die Verbesserung des Verzugs aus. Mit steigender Gl\u00fchtemperatur wird die Oberfl\u00e4chendiffusion intensiver und die Eigenspannungen werden beseitigt. Bei Mehrprodukt-Siliziumfolien kann eine Gl\u00fchtemperatur von \u00fcber 1000\u2103 f\u00fcr 60 Minuten die Spannungen im Wesentlichen abbauen und einen besseren Verzug bewirken.<\/p>\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-e36d5de elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"e36d5de\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t<p>Aufgrund der unterschiedlichen Verfahren zur Vorbereitung der Schicht, der W\u00e4rmebehandlung und der Anforderungen an die Schichtdicke, die zu unterschiedlichen Spannungszust\u00e4nden innerhalb der Schicht f\u00fchren, haben auch die geometrischen Parameter der abgeschiedenen Schicht nach dem Polieren des Substrats unterschiedliche Gr\u00f6\u00dfen. Daher k\u00f6nnen die Prozessbedingungen f\u00fcr die Filmerstellung und die W\u00e4rmebehandlung richtig gew\u00e4hlt werden, um die Kontrolle der Filmeigenspannung zu erreichen. Gleichzeitig kann entsprechend den unterschiedlichen Anforderungen an die Filmdicke die Ver\u00e4nderung des Verzugs nach dem Polieren des Substrats grob abgeleitet werden, und die Verarbeitungsf\u00e4higkeit des Produkts kann angemessen bewertet werden. Konkrete Schlussfolgerungen lauten wie folgt.<\/p><p>1 Unter den gleichen Bedingungen wird der Verzug des Siliziumwafers mit zunehmender Temperatur der Schichtabscheidung allm\u00e4hlich geringer. Bei h\u00f6heren Abscheidetemperaturen ist der Verzug der Substratscheibe relativ gering.<\/p><p>(2) Der Verzug des Substratwafers wird mit zunehmender Schichtdicke tendenziell geringer. Dies steht in guter \u00dcbereinstimmung mit der dritten Stufe der Entwicklung der Eigenspannung der Schicht w\u00e4hrend des Wachstumsprozesses. Daraus l\u00e4sst sich ableiten, dass der Verzug der Substratwafer mit zunehmender Schichtdicke weiter abnehmen wird.<\/p><p>3, mit der Gl\u00fchtemperatur erh\u00f6ht, neigt die Verwerfung des Substrats Wafer zu verringern. 1000 \u2103 oder so ist der kritische Punkt der Verwerfung drastische Ver\u00e4nderungen, h\u00f6her als 1000 \u2103 Gl\u00fchen f\u00fcr 60min kann auf die Verwerfung der wirksamen Kontrolle erreicht werden.<\/p>\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-eb7a641 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"eb7a641\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t<p>Wir bieten <a href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/kundenspezifische-dienstleistungen-2\/beschichtungstechnik-dunnschicht-laminierung-2\/chemische-abscheidung-aus-der-gasphase-cvd-auftragsbearbeitung\/\">Chemische Gasphasenabscheidung (CVD) OEM-Anpassungsdienste<\/a>k\u00f6nnen Sie gerne einen Kommentar hinterlassen.<\/p>\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-cc21078 uael-mobile-wpf-button-justify uael-wpf-style-box uael-wpf-input-size-sm uael-wpf-button-left uael-wpf-btn-size-sm uael-wpf-highlight-style-default elementor-widget elementor-widget-uael-wpf-styler\" data-id=\"cc21078\" data-element_type=\"widget\" data-settings=\"{&quot;btn_border_radius&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;top&quot;:&quot;0&quot;,&quot;right&quot;:&quot;0&quot;,&quot;bottom&quot;:&quot;0&quot;,&quot;left&quot;:&quot;0&quot;,&quot;isLinked&quot;:false},&quot;wpf_button_align_mobile&quot;:&quot;justify&quot;,&quot;wpf_input_padding&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;top&quot;:&quot;&quot;,&quot;right&quot;:&quot;&quot;,&quot;bottom&quot;:&quot;&quot;,&quot;left&quot;:&quot;&quot;,&quot;isLinked&quot;:true},&quot;wpf_input_padding_tablet&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;top&quot;:&quot;&quot;,&quot;right&quot;:&quot;&quot;,&quot;bottom&quot;:&quot;&quot;,&quot;left&quot;:&quot;&quot;,&quot;isLinked&quot;:true},&quot;wpf_input_padding_mobile&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;top&quot;:&quot;&quot;,&quot;right&quot;:&quot;&quot;,&quot;bottom&quot;:&quot;&quot;,&quot;left&quot;:&quot;&quot;,&quot;isLinked&quot;:true},&quot;wpf_input_radius&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;top&quot;:&quot;0&quot;,&quot;right&quot;:&quot;0&quot;,&quot;bottom&quot;:&quot;0&quot;,&quot;left&quot;:&quot;0&quot;,&quot;isLinked&quot;:true},&quot;wpf_input_radius_tablet&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;top&quot;:&quot;&quot;,&quot;right&quot;:&quot;&quot;,&quot;bottom&quot;:&quot;&quot;,&quot;left&quot;:&quot;&quot;,&quot;isLinked&quot;:true},&quot;wpf_input_radius_mobile&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;top&quot;:&quot;&quot;,&quot;right&quot;:&quot;&quot;,&quot;bottom&quot;:&quot;&quot;,&quot;left&quot;:&quot;&quot;,&quot;isLinked&quot;:true},&quot;wpf_button_align&quot;:&quot;left&quot;,&quot;wpf_button_padding&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;top&quot;:&quot;&quot;,&quot;right&quot;:&quot;&quot;,&quot;bottom&quot;:&quot;&quot;,&quot;left&quot;:&quot;&quot;,&quot;isLinked&quot;:true},&quot;wpf_button_padding_tablet&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;top&quot;:&quot;&quot;,&quot;right&quot;:&quot;&quot;,&quot;bottom&quot;:&quot;&quot;,&quot;left&quot;:&quot;&quot;,&quot;isLinked&quot;:true},&quot;wpf_button_padding_mobile&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;top&quot;:&quot;&quot;,&quot;right&quot;:&quot;&quot;,&quot;bottom&quot;:&quot;&quot;,&quot;left&quot;:&quot;&quot;,&quot;isLinked&quot;:true},&quot;btn_border_radius_tablet&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;top&quot;:&quot;&quot;,&quot;right&quot;:&quot;&quot;,&quot;bottom&quot;:&quot;&quot;,&quot;left&quot;:&quot;&quot;,&quot;isLinked&quot;:true},&quot;btn_border_radius_mobile&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;top&quot;:&quot;&quot;,&quot;right&quot;:&quot;&quot;,&quot;bottom&quot;:&quot;&quot;,&quot;left&quot;:&quot;&quot;,&quot;isLinked&quot;:true},&quot;form_fields_margin&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;size&quot;:&quot;&quot;,&quot;sizes&quot;:[]},&quot;form_fields_margin_tablet&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;size&quot;:&quot;&quot;,&quot;sizes&quot;:[]},&quot;form_fields_margin_mobile&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;size&quot;:&quot;&quot;,&quot;sizes&quot;:[]},&quot;form_label_margin_bottom&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;size&quot;:&quot;&quot;,&quot;sizes&quot;:[]},&quot;form_label_margin_bottom_tablet&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;size&quot;:&quot;&quot;,&quot;sizes&quot;:[]},&quot;form_label_margin_bottom_mobile&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;size&quot;:&quot;&quot;,&quot;sizes&quot;:[]},&quot;form_desc_margin_top&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;size&quot;:&quot;&quot;,&quot;sizes&quot;:[]},&quot;form_desc_margin_top_tablet&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;size&quot;:&quot;&quot;,&quot;sizes&quot;:[]},&quot;form_desc_margin_top_mobile&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;size&quot;:&quot;&quot;,&quot;sizes&quot;:[]},&quot;check_radio_items_spacing&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;size&quot;:&quot;&quot;,&quot;sizes&quot;:[]},&quot;check_radio_items_spacing_tablet&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;size&quot;:&quot;&quot;,&quot;sizes&quot;:[]},&quot;check_radio_items_spacing_mobile&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;size&quot;:&quot;&quot;,&quot;sizes&quot;:[]},&quot;submit_spacing&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;size&quot;:&quot;&quot;,&quot;sizes&quot;:[]},&quot;submit_spacing_tablet&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;size&quot;:&quot;&quot;,&quot;sizes&quot;:[]},&quot;submit_spacing_mobile&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;size&quot;:&quot;&quot;,&quot;sizes&quot;:[]}}\" data-widget_type=\"uael-wpf-styler.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t<div class = \"uael-wpf-container\">\r\n\t\t\t\t\t\t<div class = \"uael-wpf uael-wpf-style elementor-clickable\">\r\n\t\t\t\t\t\t<div class=\"wpforms-container wpforms-container-full\" id=\"wpforms-2729\"><form id=\"wpforms-form-2729\" class=\"wpforms-validate wpforms-form wpforms-ajax-form\" data-formid=\"2729\" method=\"post\" enctype=\"multipart\/form-data\" action=\"\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/7761\" data-token=\"bc88c845ea429835182066c967aeb694\" data-trp-original-action=\"\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/7761\"><noscript class=\"wpforms-error-noscript\">Bitte aktivieren Sie JavaScript in Ihrem Browser, um dieses Formular fertigzustellen.<\/noscript><div class=\"wpforms-field-container\"><div id=\"wpforms-2729-field_5-container\" class=\"wpforms-field wpforms-field-textarea\" data-field-id=\"5\"><label class=\"wpforms-field-label\" for=\"wpforms-2729-field_5\">Bedarf (Nachfrage) <span class=\"wpforms-required-label\">*<\/span><\/label><textarea id=\"wpforms-2729-field_5\" class=\"wpforms-field-medium wpforms-field-required\" name=\"wpforms[fields][5]\" placeholder=\"F\u00fcllen Sie Ihre Anforderungen aus...\" required><\/textarea><\/div><div id=\"wpforms-2729-field_10-container\" class=\"wpforms-field wpforms-field-layout\" data-field-id=\"10\"><label class=\"wpforms-field-label wpforms-label-hide\" for=\"wpforms-2729-field_10\">Layout<\/label><div class=\"wpforms-field-layout-columns wpforms-field-layout-preset-50-50\"><div class=\"wpforms-layout-column wpforms-layout-column-50\"><div id=\"wpforms-2729-field_9-container\" class=\"wpforms-field wpforms-field-email\" data-field-id=\"9\"><label class=\"wpforms-field-label\" for=\"wpforms-2729-field_9\">Mailbox (E-Mail) <span class=\"wpforms-required-label\">*<\/span><\/label><input type=\"email\" id=\"wpforms-2729-field_9\" class=\"wpforms-field-medium wpforms-field-required\" name=\"wpforms[fields][9]\" placeholder=\"F\u00fcllen Sie Ihre E-Mail aus...\" required><\/div><\/div><div class=\"wpforms-layout-column wpforms-layout-column-50\"><div id=\"wpforms-2729-field_1-container\" class=\"wpforms-field wpforms-field-text\" data-field-id=\"1\"><label class=\"wpforms-field-label\" for=\"wpforms-2729-field_1\">Name (Name)<\/label><input type=\"text\" id=\"wpforms-2729-field_1\" class=\"wpforms-field-medium\" name=\"wpforms[fields][1]\" placeholder=\"Geben Sie Ihren Namen ein...\" ><\/div><\/div><\/div><\/div><\/div><div class=\"wpforms-submit-container\"><input type=\"hidden\" name=\"wpforms[id]\" value=\"2729\"><input type=\"hidden\" name=\"wpforms[author]\" value=\"3\"><button type=\"submit\" name=\"wpforms[submit]\" id=\"wpforms-submit-2729\" class=\"wpforms-submit\" data-alt-text=\"\u53d1\u9001\u4e2d\u2026\" data-submit-text=\"\u8054\u7cfb\u6211\u4eec\" aria-live=\"assertive\" value=\"wpforms-submit\">Kontakt<\/button><img decoding=\"async\" src=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/plugins\/wpforms\/assets\/images\/submit-spin.svg\" class=\"wpforms-submit-spinner\" style=\"display: none;\" width=\"26\" height=\"26\" alt=\"Wird geladen\"><\/div><input type=\"hidden\" name=\"trp-form-language\" value=\"de\"\/><\/form><\/div>  <!-- .wpforms-container -->\t\t\t\t\t<\/div>\r\n\t\t\t\t<\/div>\r\n\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-column elementor-col-50 elementor-inner-column elementor-element elementor-element-285e581\" data-id=\"285e581\" data-element_type=\"column\">\n\t\t\t<div class=\"elementor-widget-wrap elementor-element-populated\">\n\t\t\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-7fb0d73 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"7fb0d73\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t<div class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">\u00c4hnliche Produkte<\/div>\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-218b1ce elementor-grid-1 elementor-grid-tablet-2 elementor-grid-mobile-1 elementor-posts--thumbnail-top elementor-widget elementor-widget-posts\" data-id=\"218b1ce\" data-element_type=\"widget\" data-settings=\"{&quot;classic_columns&quot;:&quot;1&quot;,&quot;classic_row_gap&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;size&quot;:10,&quot;sizes&quot;:[]},&quot;classic_columns_tablet&quot;:&quot;2&quot;,&quot;classic_columns_mobile&quot;:&quot;1&quot;,&quot;classic_row_gap_tablet&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;size&quot;:&quot;&quot;,&quot;sizes&quot;:[]},&quot;classic_row_gap_mobile&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;size&quot;:&quot;&quot;,&quot;sizes&quot;:[]}}\" data-widget_type=\"posts.classic\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t<link rel=\"stylesheet\" href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/plugins\/elementor-pro\/assets\/css\/widget-posts.min.css\">\t\t<div class=\"elementor-posts-container elementor-posts elementor-posts--skin-classic elementor-grid\">\n\t\t\t\t<article class=\"elementor-post elementor-grid-item post-7386 page type-page status-publish has-post-thumbnail hentry category-process tag-process\">\n\t\t\t\t<a class=\"elementor-post__thumbnail__link\" href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/kundenspezifische-dienstleistungen-2\/beschichtungstechnik-dunnschicht-laminierung-2\/atomlagenabscheidung-auftragsbearbeitung-2\/\" tabindex=\"-1\" >\n\t\t\t<div class=\"elementor-post__thumbnail\"><img decoding=\"async\" width=\"300\" height=\"195\" src=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/03\/2890e32db03fae1fa2ab67a6ed9c0d8-300x195.png\" class=\"attachment-medium size-medium wp-image-7388\" alt=\"\" srcset=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/03\/2890e32db03fae1fa2ab67a6ed9c0d8-300x195.png 300w, https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/03\/2890e32db03fae1fa2ab67a6ed9c0d8-18x12.png 18w, https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/03\/2890e32db03fae1fa2ab67a6ed9c0d8.png 640w\" sizes=\"(max-width: 300px) 100vw, 300px\" \/><\/div>\n\t\t<\/a>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-post__text\">\n\t\t\t\t<h4 class=\"elementor-post__title\">\n\t\t\t<a href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/kundenspezifische-dienstleistungen-2\/beschichtungstechnik-dunnschicht-laminierung-2\/atomlagenabscheidung-auftragsbearbeitung-2\/\" >\n\t\t\t\tSubstitutionsverfahren durch Atomlagenabscheidung (ALD)\t\t\t<\/a>\n\t\t<\/h4>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-post__excerpt\">\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\n\t\t<a class=\"elementor-post__read-more\" href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/kundenspezifische-dienstleistungen-2\/beschichtungstechnik-dunnschicht-laminierung-2\/atomlagenabscheidung-auftragsbearbeitung-2\/\" aria-label=\"Lesen Sie mehr \u00fcber Atomic Layer Deposition (ALD) Foundry Processing\" tabindex=\"-1\" >\n\t\t\tMehr lesen \"\t\t<\/a>\n\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/article>\n\t\t\t\t<article class=\"elementor-post elementor-grid-item post-7344 page type-page status-publish has-post-thumbnail hentry category-process tag-process\">\n\t\t\t\t<a class=\"elementor-post__thumbnail__link\" href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/kundenspezifische-dienstleistungen-2\/beschichtungstechnik-dunnschicht-laminierung-2\/chemische-abscheidung-aus-der-gasphase-cvd-auftragsbearbeitung\/\" tabindex=\"-1\" >\n\t\t\t<div class=\"elementor-post__thumbnail\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" width=\"300\" height=\"200\" src=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/03\/f394ed96-eaca-40cc-83f6-ebadaea95553-300x200.png\" class=\"attachment-medium size-medium wp-image-7347\" alt=\"\" srcset=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/03\/f394ed96-eaca-40cc-83f6-ebadaea95553-300x200.png 300w, https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/03\/f394ed96-eaca-40cc-83f6-ebadaea95553-1024x684.png 1024w, https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/03\/f394ed96-eaca-40cc-83f6-ebadaea95553-768x513.png 768w, https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/03\/f394ed96-eaca-40cc-83f6-ebadaea95553-1536x1025.png 1536w, https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/03\/f394ed96-eaca-40cc-83f6-ebadaea95553-18x12.png 18w, https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/03\/elementor\/thumbs\/f394ed96-eaca-40cc-83f6-ebadaea95553-qlt2nzpy27w47wpv9hvjdczv85dnqtqc8q83uvppb4.png 360w, https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/03\/f394ed96-eaca-40cc-83f6-ebadaea95553.png 1600w\" sizes=\"(max-width: 300px) 100vw, 300px\" \/><\/div>\n\t\t<\/a>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-post__text\">\n\t\t\t\t<h4 class=\"elementor-post__title\">\n\t\t\t<a href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/kundenspezifische-dienstleistungen-2\/beschichtungstechnik-dunnschicht-laminierung-2\/chemische-abscheidung-aus-der-gasphase-cvd-auftragsbearbeitung\/\" >\n\t\t\t\tChemical Vapour Deposition (CVD) Generation Processing\t\t\t<\/a>\n\t\t<\/h4>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-post__excerpt\">\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\n\t\t<a class=\"elementor-post__read-more\" href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/kundenspezifische-dienstleistungen-2\/beschichtungstechnik-dunnschicht-laminierung-2\/chemische-abscheidung-aus-der-gasphase-cvd-auftragsbearbeitung\/\" aria-label=\"Lesen Sie mehr \u00fcber Chemical Vapour Deposition (CVD) Subcontracting\" tabindex=\"-1\" >\n\t\t\tMehr lesen \"\t\t<\/a>\n\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/article>\n\t\t\t\t<article class=\"elementor-post elementor-grid-item post-7355 page type-page status-publish has-post-thumbnail hentry category-process tag-process\">\n\t\t\t\t<a class=\"elementor-post__thumbnail__link\" href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/kundenspezifische-dienstleistungen-2\/beschichtungstechnik-dunnschicht-laminierung-2\/physikalische-abscheidung-aus-der-gasphase-contract-processing-2\/\" tabindex=\"-1\" >\n\t\t\t<div class=\"elementor-post__thumbnail\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" width=\"300\" height=\"200\" src=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/03\/59c77cbc-ce7b-4fe7-99ce-ee924312b932-300x200.png\" class=\"attachment-medium size-medium wp-image-7357\" alt=\"\" srcset=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/03\/59c77cbc-ce7b-4fe7-99ce-ee924312b932-300x200.png 300w, https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/03\/59c77cbc-ce7b-4fe7-99ce-ee924312b932-1024x683.png 1024w, https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/03\/59c77cbc-ce7b-4fe7-99ce-ee924312b932-768x512.png 768w, https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/03\/59c77cbc-ce7b-4fe7-99ce-ee924312b932-18x12.png 18w, https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/03\/elementor\/thumbs\/59c77cbc-ce7b-4fe7-99ce-ee924312b932-qlti2lfsi53oh54jrq611wpt5lt6dogutrcqlbec0w.png 360w, https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/03\/59c77cbc-ce7b-4fe7-99ce-ee924312b932.png 1508w\" sizes=\"(max-width: 300px) 100vw, 300px\" \/><\/div>\n\t\t<\/a>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-post__text\">\n\t\t\t\t<h4 class=\"elementor-post__title\">\n\t\t\t<a href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/kundenspezifische-dienstleistungen-2\/beschichtungstechnik-dunnschicht-laminierung-2\/physikalische-abscheidung-aus-der-gasphase-contract-processing-2\/\" >\n\t\t\t\tPhysikalische Abscheidung aus der Gasphase (PVD) - Generative Verarbeitung\t\t\t<\/a>\n\t\t<\/h4>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-post__excerpt\">\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\n\t\t<a class=\"elementor-post__read-more\" href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/kundenspezifische-dienstleistungen-2\/beschichtungstechnik-dunnschicht-laminierung-2\/physikalische-abscheidung-aus-der-gasphase-contract-processing-2\/\" aria-label=\"Lesen Sie mehr \u00fcber Physical Vapour Deposition (PVD) Subcontracting\" tabindex=\"-1\" >\n\t\t\tMehr lesen \"\t\t<\/a>\n\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/article>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-7063f65 elementor-widget-divider--view-line elementor-widget elementor-widget-divider\" data-id=\"7063f65\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"divider.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t<style>\/*! elementor - v3.20.0 - 20-03-2024 *\/\n.elementor-widget-divider{--divider-border-style:none;--divider-border-width:1px;--divider-color:#0c0d0e;--divider-icon-size:20px;--divider-element-spacing:10px;--divider-pattern-height:24px;--divider-pattern-size:20px;--divider-pattern-url:none;--divider-pattern-repeat:repeat-x}.elementor-widget-divider .elementor-divider{display:flex}.elementor-widget-divider .elementor-divider__text{font-size:15px;line-height:1;max-width:95%}.elementor-widget-divider .elementor-divider__element{margin:0 var(--divider-element-spacing);flex-shrink:0}.elementor-widget-divider .elementor-icon{font-size:var(--divider-icon-size)}.elementor-widget-divider .elementor-divider-separator{display:flex;margin:0;direction:ltr}.elementor-widget-divider--view-line_icon .elementor-divider-separator,.elementor-widget-divider--view-line_text .elementor-divider-separator{align-items:center}.elementor-widget-divider--view-line_icon .elementor-divider-separator:after,.elementor-widget-divider--view-line_icon .elementor-divider-separator:before,.elementor-widget-divider--view-line_text .elementor-divider-separator:after,.elementor-widget-divider--view-line_text .elementor-divider-separator:before{display:block;content:\"\";border-block-end:0;flex-grow:1;border-block-start:var(--divider-border-width) var(--divider-border-style) var(--divider-color)}.elementor-widget-divider--element-align-left .elementor-divider .elementor-divider-separator>.elementor-divider__svg:first-of-type{flex-grow:0;flex-shrink:100}.elementor-widget-divider--element-align-left .elementor-divider-separator:before{content:none}.elementor-widget-divider--element-align-left .elementor-divider__element{margin-left:0}.elementor-widget-divider--element-align-right .elementor-divider .elementor-divider-separator>.elementor-divider__svg:last-of-type{flex-grow:0;flex-shrink:100}.elementor-widget-divider--element-align-right .elementor-divider-separator:after{content:none}.elementor-widget-divider--element-align-right .elementor-divider__element{margin-right:0}.elementor-widget-divider--element-align-start .elementor-divider .elementor-divider-separator>.elementor-divider__svg:first-of-type{flex-grow:0;flex-shrink:100}.elementor-widget-divider--element-align-start .elementor-divider-separator:before{content:none}.elementor-widget-divider--element-align-start .elementor-divider__element{margin-inline-start:0}.elementor-widget-divider--element-align-end .elementor-divider .elementor-divider-separator>.elementor-divider__svg:last-of-type{flex-grow:0;flex-shrink:100}.elementor-widget-divider--element-align-end .elementor-divider-separator:after{content:none}.elementor-widget-divider--element-align-end .elementor-divider__element{margin-inline-end:0}.elementor-widget-divider:not(.elementor-widget-divider--view-line_text):not(.elementor-widget-divider--view-line_icon) .elementor-divider-separator{border-block-start:var(--divider-border-width) var(--divider-border-style) var(--divider-color)}.elementor-widget-divider--separator-type-pattern{--divider-border-style:none}.elementor-widget-divider--separator-type-pattern.elementor-widget-divider--view-line .elementor-divider-separator,.elementor-widget-divider--separator-type-pattern:not(.elementor-widget-divider--view-line) .elementor-divider-separator:after,.elementor-widget-divider--separator-type-pattern:not(.elementor-widget-divider--view-line) .elementor-divider-separator:before,.elementor-widget-divider--separator-type-pattern:not([class*=elementor-widget-divider--view]) .elementor-divider-separator{width:100%;min-height:var(--divider-pattern-height);-webkit-mask-size:var(--divider-pattern-size) 100%;mask-size:var(--divider-pattern-size) 100%;-webkit-mask-repeat:var(--divider-pattern-repeat);mask-repeat:var(--divider-pattern-repeat);background-color:var(--divider-color);-webkit-mask-image:var(--divider-pattern-url);mask-image:var(--divider-pattern-url)}.elementor-widget-divider--no-spacing{--divider-pattern-size:auto}.elementor-widget-divider--bg-round{--divider-pattern-repeat:round}.rtl .elementor-widget-divider .elementor-divider__text{direction:rtl}.e-con-inner>.elementor-widget-divider,.e-con>.elementor-widget-divider{width:var(--container-widget-width,100%);--flex-grow:var(--container-widget-flex-grow)}<\/style>\t\t<div class=\"elementor-divider\">\n\t\t\t<span class=\"elementor-divider-separator\">\n\t\t\t\t\t\t<\/span>\n\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-47b8402 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"47b8402\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t<div class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">Verwandte Lekt\u00fcre<\/div>\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-0550566 elementor-grid-1 elementor-posts--thumbnail-none elementor-grid-tablet-2 elementor-grid-mobile-1 elementor-widget elementor-widget-posts\" data-id=\"0550566\" data-element_type=\"widget\" data-settings=\"{&quot;classic_columns&quot;:&quot;1&quot;,&quot;classic_columns_tablet&quot;:&quot;2&quot;,&quot;classic_columns_mobile&quot;:&quot;1&quot;,&quot;classic_row_gap&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;size&quot;:35,&quot;sizes&quot;:[]},&quot;classic_row_gap_tablet&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;size&quot;:&quot;&quot;,&quot;sizes&quot;:[]},&quot;classic_row_gap_mobile&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;size&quot;:&quot;&quot;,&quot;sizes&quot;:[]}}\" data-widget_type=\"posts.classic\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<div class=\"elementor-posts-container elementor-posts elementor-posts--skin-classic elementor-grid\">\n\t\t\t\t<article class=\"elementor-post elementor-grid-item post-7661 post type-post status-publish format-standard has-post-thumbnail hentry category-application\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-post__text\">\n\t\t\t\t<h4 class=\"elementor-post__title\">\n\t\t\t<a href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/einblick-2\/application\/eigenschaften-und-anwendungen-von-diamant-folien\/\" >\n\t\t\t\tEigenschaften von Diamantfilmen und ihre Anwendungen\t\t\t<\/a>\n\t\t<\/h4>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-post__excerpt\">\n\t\t\t<p>Eigenschaften von Diamantfilmen und ihre Anwendungen Diamant hat eine Reihe hervorragender Eigenschaften<\/p>\n\t\t<\/div>\n\t\t\n\t\t<a class=\"elementor-post__read-more\" href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/einblick-2\/application\/eigenschaften-und-anwendungen-von-diamant-folien\/\" aria-label=\"Lesen Sie mehr \u00fcber Eigenschaften und Anwendungen von Diamantfilmen\" tabindex=\"-1\" >\n\t\t\tMehr lesen \"\t\t<\/a>\n\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/article>\n\t\t\t\t<article class=\"elementor-post elementor-grid-item post-7744 post type-post status-publish format-standard has-post-thumbnail hentry category-application\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-post__text\">\n\t\t\t\t<h4 class=\"elementor-post__title\">\n\t\t\t<a href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/einblick-2\/application\/faktoren-die-die-oberflacheneigenschaften-von-polysilizium-filmen-beeinflussen\/\" >\n\t\t\t\tPolysiliziumfilm\u4e28Verschiedene Faktoren, die die Oberfl\u00e4cheneigenschaften von Polysiliziumfilm beeinflussen\t\t\t<\/a>\n\t\t<\/h4>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-post__excerpt\">\n\t\t\t<p>Polysiliziumfilm\u4e28Verschiedene Faktoren, die die Oberfl\u00e4cheneigenschaften beeinflussen, wachsender Polysiliziumfilm<\/p>\n\t\t<\/div>\n\t\t\n\t\t<a class=\"elementor-post__read-more\" href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/einblick-2\/application\/faktoren-die-die-oberflacheneigenschaften-von-polysilizium-filmen-beeinflussen\/\" aria-label=\"Lesen Sie mehr \u00fcber Polysilizium-D\u00fcnnschichten\u4e28Verschiedene Faktoren, die die Oberfl\u00e4cheneigenschaften von Polysilizium-D\u00fcnnschichten beeinflussen\" tabindex=\"-1\" >\n\t\t\tMehr lesen \"\t\t<\/a>\n\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/article>\n\t\t\t\t<article class=\"elementor-post elementor-grid-item post-8065 post type-post status-publish format-standard has-post-thumbnail hentry category-application\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-post__text\">\n\t\t\t\t<h4 class=\"elementor-post__title\">\n\t\t\t<a href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/einblick-2\/application\/prozess-prinzip-und-anwendung-der-optischen-beschichtung\/\" >\n\t\t\t\tVerfahrensprinzipien und Anwendungen optischer Beschichtungen\t\t\t<\/a>\n\t\t<\/h4>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-post__excerpt\">\n\t\t\t<p>Prinzipien und Anwendungen der optischen Beschichtungstechnologie Die Verfahrensprinzipien der optischen Beschichtung umfassen haupts\u00e4chlich<\/p>\n\t\t<\/div>\n\t\t\n\t\t<a class=\"elementor-post__read-more\" href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/einblick-2\/application\/prozess-prinzip-und-anwendung-der-optischen-beschichtung\/\" aria-label=\"Lesen Sie mehr \u00fcber Verfahrensprinzipien und Anwendungen optischer Beschichtungen\" tabindex=\"-1\" >\n\t\t\tMehr lesen \"\t\t<\/a>\n\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/article>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-eb240b5 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"eb240b5\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t<p class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\"><a href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/einblicke-2\/\">Mehr dazu...<\/a><\/p>\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/section>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/section>\n\t\t\t\t<\/div>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>Polykristalline Siliziumd\u00fcnnschichten\u4e28Beeinflussung der Verformung von Siliziumwafern In vielen F\u00e4llen k\u00f6nnen Spannungen zu unerw\u00fcnschten Ergebnissen f\u00fchren. Die Verwendung von LPCVD zur Abscheidung polykristalliner Silizium-D\u00fcnnschichten f\u00fcr [...]<\/p>","protected":false},"author":3,"featured_media":7762,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"default","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","theme-transparent-header-meta":"","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"set","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-4)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-gradient":""}},"ast-content-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-gradient":""}},"footnotes":""},"categories":[215],"tags":[],"class_list":["post-7761","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-application"],"yoast_head":"<!-- This site is optimized with the Yoast SEO Premium plugin v20.0 (Yoast SEO v22.4) - https:\/\/yoast.com\/wordpress\/plugins\/seo\/ -->\n<title>\u591a\u6676\u7845\u8584\u819c\u4e28\u5f71\u54cd\u7845\u7247\u7fd8\u66f2\u5ea6\u7684\u5404\u79cd\u539f\u56e0 - \u6e2f\u6e7e\u534a\u5bfc\u4f53<\/title>\n<meta name=\"description\" content=\"\u7531\u4e8e\u8584\u819c\u5236\u5907\u5de5\u827a\u3001\u70ed\u5904\u7406\u8fc7\u7a0b\u548c\u819c\u539a\u8981\u6c42\u7684\u4e0d\u540c\uff0c\u9020\u6210\u8584\u819c\u5185\u90e8\u4e0d\u540c\u7684\u5e94\u529b\u72b6\u6001\uff0c\u6c89\u79ef\u8584\u819c\u7684\u886c\u5e95\u629b\u5149\u540e\u51e0\u4f55\u53c2\u6570\u4e5f\u5177\u6709\u4e0d\u540c\u7684\u5927\u5c0f\u3002\u53ef\u4ee5\u6070\u5f53\u9009\u62e9\u5236\u5907\u8584\u819c\u7684\u5de5\u827a\u6761\u4ef6\u3001\u70ed\u5904\u7406\u8fc7\u7a0b\u5b9e\u73b0\u5bf9\u8584\u819c\u6b8b\u4f59\u5e94\u529b\u7684\u63a7\u5236\uff0c\u540c\u65f6\u6839\u636e\u819c\u539a\u8981\u6c42\u7684\u4e0d\u540c\uff0c\u63a8\u7b97\u51fa\u886c\u5e95\u629b\u5149\u540e\u7fd8\u66f2\u5ea6\u7684\u53d8\u5316\u60c5\u51b5\uff0c\u5bf9\u4ea7\u54c1\u7684\u52a0\u5de5\u80fd\u529b\u8fdb\u884c\u9002\u5f53\u7684\u8bc4\u4f30\u3002\" \/>\n<meta name=\"robots\" content=\"index, follow, max-snippet:-1, max-image-preview:large, max-video-preview:-1\" \/>\n<link rel=\"canonical\" href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/einblick-2\/application\/der-grund-des-einflusses-auf-den-warming-grad-von-siliziumwafern-2\/\" \/>\n<meta property=\"og:locale\" content=\"de_DE\" \/>\n<meta property=\"og:type\" content=\"article\" \/>\n<meta property=\"og:title\" content=\"\u591a\u6676\u7845\u8584\u819c\u4e28\u5f71\u54cd\u7845\u7247\u7fd8\u66f2\u5ea6\u7684\u5404\u79cd\u539f\u56e0\" \/>\n<meta property=\"og:description\" content=\"\u7531\u4e8e\u8584\u819c\u5236\u5907\u5de5\u827a\u3001\u70ed\u5904\u7406\u8fc7\u7a0b\u548c\u819c\u539a\u8981\u6c42\u7684\u4e0d\u540c\uff0c\u9020\u6210\u8584\u819c\u5185\u90e8\u4e0d\u540c\u7684\u5e94\u529b\u72b6\u6001\uff0c\u6c89\u79ef\u8584\u819c\u7684\u886c\u5e95\u629b\u5149\u540e\u51e0\u4f55\u53c2\u6570\u4e5f\u5177\u6709\u4e0d\u540c\u7684\u5927\u5c0f\u3002\u53ef\u4ee5\u6070\u5f53\u9009\u62e9\u5236\u5907\u8584\u819c\u7684\u5de5\u827a\u6761\u4ef6\u3001\u70ed\u5904\u7406\u8fc7\u7a0b\u5b9e\u73b0\u5bf9\u8584\u819c\u6b8b\u4f59\u5e94\u529b\u7684\u63a7\u5236\uff0c\u540c\u65f6\u6839\u636e\u819c\u539a\u8981\u6c42\u7684\u4e0d\u540c\uff0c\u63a8\u7b97\u51fa\u886c\u5e95\u629b\u5149\u540e\u7fd8\u66f2\u5ea6\u7684\u53d8\u5316\u60c5\u51b5\uff0c\u5bf9\u4ea7\u54c1\u7684\u52a0\u5de5\u80fd\u529b\u8fdb\u884c\u9002\u5f53\u7684\u8bc4\u4f30\u3002\" \/>\n<meta property=\"og:url\" content=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/einblick-2\/application\/der-grund-des-einflusses-auf-den-warming-grad-von-siliziumwafern-2\/\" \/>\n<meta property=\"og:site_name\" content=\"\u6e2f\u6e7e\u534a\u5bfc\u4f53\" \/>\n<meta property=\"article:published_time\" content=\"2024-04-19T08:49:46+00:00\" \/>\n<meta property=\"article:modified_time\" content=\"2024-05-13T02:16:53+00:00\" \/>\n<meta property=\"og:image\" content=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/04\/39eab4126e833fe2e5a396e60db9ef0.png\" \/>\n\t<meta property=\"og:image:width\" content=\"780\" \/>\n\t<meta property=\"og:image:height\" content=\"490\" \/>\n\t<meta property=\"og:image:type\" content=\"image\/png\" \/>\n<meta name=\"author\" content=\"jeff5829\" \/>\n<meta name=\"twitter:card\" content=\"summary_large_image\" \/>\n<meta name=\"twitter:label1\" content=\"Verfasst von\" \/>\n\t<meta name=\"twitter:data1\" content=\"jeff5829\" \/>\n\t<meta name=\"twitter:label2\" content=\"Gesch\u00e4tzte Lesezeit\" \/>\n\t<meta name=\"twitter:data2\" content=\"1\u00a0Minute\" \/>\n<script type=\"application\/ld+json\" class=\"yoast-schema-graph\">{\"@context\":\"https:\/\/schema.org\",\"@graph\":[{\"@type\":\"Article\",\"@id\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/the-reason-of-influencing-the-warping-degree-of-silicon-wafer\/#article\",\"isPartOf\":{\"@id\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/the-reason-of-influencing-the-warping-degree-of-silicon-wafer\/\"},\"author\":{\"name\":\"jeff5829\",\"@id\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/#\/schema\/person\/43ad5264cbf98ccd5ec1fbd4f6c3b0e5\"},\"headline\":\"\u591a\u6676\u7845\u8584\u819c\u4e28\u5f71\u54cd\u7845\u7247\u7fd8\u66f2\u5ea6\u7684\u5404\u79cd\u539f\u56e0\",\"datePublished\":\"2024-04-19T08:49:46+00:00\",\"dateModified\":\"2024-05-13T02:16:53+00:00\",\"mainEntityOfPage\":{\"@id\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/the-reason-of-influencing-the-warping-degree-of-silicon-wafer\/\"},\"wordCount\":9,\"commentCount\":0,\"publisher\":{\"@id\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/#organization\"},\"image\":{\"@id\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/the-reason-of-influencing-the-warping-degree-of-silicon-wafer\/#primaryimage\"},\"thumbnailUrl\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/04\/39eab4126e833fe2e5a396e60db9ef0.png\",\"articleSection\":[\"\u5e94\u7528\"],\"inLanguage\":\"de\",\"potentialAction\":[{\"@type\":\"CommentAction\",\"name\":\"Comment\",\"target\":[\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/the-reason-of-influencing-the-warping-degree-of-silicon-wafer\/#respond\"]}]},{\"@type\":\"WebPage\",\"@id\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/the-reason-of-influencing-the-warping-degree-of-silicon-wafer\/\",\"url\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/the-reason-of-influencing-the-warping-degree-of-silicon-wafer\/\",\"name\":\"\u591a\u6676\u7845\u8584\u819c\u4e28\u5f71\u54cd\u7845\u7247\u7fd8\u66f2\u5ea6\u7684\u5404\u79cd\u539f\u56e0 - \u6e2f\u6e7e\u534a\u5bfc\u4f53\",\"isPartOf\":{\"@id\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/#website\"},\"primaryImageOfPage\":{\"@id\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/the-reason-of-influencing-the-warping-degree-of-silicon-wafer\/#primaryimage\"},\"image\":{\"@id\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/the-reason-of-influencing-the-warping-degree-of-silicon-wafer\/#primaryimage\"},\"thumbnailUrl\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/04\/39eab4126e833fe2e5a396e60db9ef0.png\",\"datePublished\":\"2024-04-19T08:49:46+00:00\",\"dateModified\":\"2024-05-13T02:16:53+00:00\",\"description\":\"\u7531\u4e8e\u8584\u819c\u5236\u5907\u5de5\u827a\u3001\u70ed\u5904\u7406\u8fc7\u7a0b\u548c\u819c\u539a\u8981\u6c42\u7684\u4e0d\u540c\uff0c\u9020\u6210\u8584\u819c\u5185\u90e8\u4e0d\u540c\u7684\u5e94\u529b\u72b6\u6001\uff0c\u6c89\u79ef\u8584\u819c\u7684\u886c\u5e95\u629b\u5149\u540e\u51e0\u4f55\u53c2\u6570\u4e5f\u5177\u6709\u4e0d\u540c\u7684\u5927\u5c0f\u3002\u53ef\u4ee5\u6070\u5f53\u9009\u62e9\u5236\u5907\u8584\u819c\u7684\u5de5\u827a\u6761\u4ef6\u3001\u70ed\u5904\u7406\u8fc7\u7a0b\u5b9e\u73b0\u5bf9\u8584\u819c\u6b8b\u4f59\u5e94\u529b\u7684\u63a7\u5236\uff0c\u540c\u65f6\u6839\u636e\u819c\u539a\u8981\u6c42\u7684\u4e0d\u540c\uff0c\u63a8\u7b97\u51fa\u886c\u5e95\u629b\u5149\u540e\u7fd8\u66f2\u5ea6\u7684\u53d8\u5316\u60c5\u51b5\uff0c\u5bf9\u4ea7\u54c1\u7684\u52a0\u5de5\u80fd\u529b\u8fdb\u884c\u9002\u5f53\u7684\u8bc4\u4f30\u3002\",\"breadcrumb\":{\"@id\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/the-reason-of-influencing-the-warping-degree-of-silicon-wafer\/#breadcrumb\"},\"inLanguage\":\"de\",\"potentialAction\":[{\"@type\":\"ReadAction\",\"target\":[\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/the-reason-of-influencing-the-warping-degree-of-silicon-wafer\/\"]}]},{\"@type\":\"ImageObject\",\"inLanguage\":\"de\",\"@id\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/the-reason-of-influencing-the-warping-degree-of-silicon-wafer\/#primaryimage\",\"url\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/04\/39eab4126e833fe2e5a396e60db9ef0.png\",\"contentUrl\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/04\/39eab4126e833fe2e5a396e60db9ef0.png\",\"width\":780,\"height\":490},{\"@type\":\"BreadcrumbList\",\"@id\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/the-reason-of-influencing-the-warping-degree-of-silicon-wafer\/#breadcrumb\",\"itemListElement\":[{\"@type\":\"ListItem\",\"position\":1,\"name\":\"\u9996\u9875\",\"item\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/\"},{\"@type\":\"ListItem\",\"position\":2,\"name\":\"\u591a\u6676\u7845\u8584\u819c\u4e28\u5f71\u54cd\u7845\u7247\u7fd8\u66f2\u5ea6\u7684\u5404\u79cd\u539f\u56e0\"}]},{\"@type\":\"WebSite\",\"@id\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/#website\",\"url\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/\",\"name\":\"Harbour\u6e2f\u6e7e\u534a\u5bfc\u4f53\",\"description\":\"Greater China\",\"publisher\":{\"@id\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/#organization\"},\"potentialAction\":[{\"@type\":\"SearchAction\",\"target\":{\"@type\":\"EntryPoint\",\"urlTemplate\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/?s={search_term_string}\"},\"query-input\":\"required name=search_term_string\"}],\"inLanguage\":\"de\"},{\"@type\":\"Organization\",\"@id\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/#organization\",\"name\":\"\u6e2f\u6e7e\u534a\u5bfc\u4f53\",\"url\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/\",\"logo\":{\"@type\":\"ImageObject\",\"inLanguage\":\"de\",\"@id\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/#\/schema\/logo\/image\/\",\"url\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2023\/03\/cropped-cropped-cropped-\u6e2f\u6e7e\u534a\u5bfc\u4f53-logo.png\",\"contentUrl\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2023\/03\/cropped-cropped-cropped-\u6e2f\u6e7e\u534a\u5bfc\u4f53-logo.png\",\"width\":380,\"height\":60,\"caption\":\"\u6e2f\u6e7e\u534a\u5bfc\u4f53\"},\"image\":{\"@id\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/#\/schema\/logo\/image\/\"}},{\"@type\":\"Person\",\"@id\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/#\/schema\/person\/43ad5264cbf98ccd5ec1fbd4f6c3b0e5\",\"name\":\"jeff5829\",\"image\":{\"@type\":\"ImageObject\",\"inLanguage\":\"de\",\"@id\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/#\/schema\/person\/image\/\",\"url\":\"https:\/\/secure.gravatar.com\/avatar\/07276a17cfc0fa45dca16dd680ca6060143a60e8f4bd15c2584de1fdcec39601?s=96&d=mm&r=g\",\"contentUrl\":\"https:\/\/secure.gravatar.com\/avatar\/07276a17cfc0fa45dca16dd680ca6060143a60e8f4bd15c2584de1fdcec39601?s=96&d=mm&r=g\",\"caption\":\"jeff5829\"},\"url\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/author\/jeff5829\/\"}]}<\/script>\n<!-- \/ Yoast SEO Premium plugin. -->","yoast_head_json":{"title":"\u591a\u6676\u7845\u8584\u819c\u4e28\u5f71\u54cd\u7845\u7247\u7fd8\u66f2\u5ea6\u7684\u5404\u79cd\u539f\u56e0 - \u6e2f\u6e7e\u534a\u5bfc\u4f53","description":"\u7531\u4e8e\u8584\u819c\u5236\u5907\u5de5\u827a\u3001\u70ed\u5904\u7406\u8fc7\u7a0b\u548c\u819c\u539a\u8981\u6c42\u7684\u4e0d\u540c\uff0c\u9020\u6210\u8584\u819c\u5185\u90e8\u4e0d\u540c\u7684\u5e94\u529b\u72b6\u6001\uff0c\u6c89\u79ef\u8584\u819c\u7684\u886c\u5e95\u629b\u5149\u540e\u51e0\u4f55\u53c2\u6570\u4e5f\u5177\u6709\u4e0d\u540c\u7684\u5927\u5c0f\u3002\u53ef\u4ee5\u6070\u5f53\u9009\u62e9\u5236\u5907\u8584\u819c\u7684\u5de5\u827a\u6761\u4ef6\u3001\u70ed\u5904\u7406\u8fc7\u7a0b\u5b9e\u73b0\u5bf9\u8584\u819c\u6b8b\u4f59\u5e94\u529b\u7684\u63a7\u5236\uff0c\u540c\u65f6\u6839\u636e\u819c\u539a\u8981\u6c42\u7684\u4e0d\u540c\uff0c\u63a8\u7b97\u51fa\u886c\u5e95\u629b\u5149\u540e\u7fd8\u66f2\u5ea6\u7684\u53d8\u5316\u60c5\u51b5\uff0c\u5bf9\u4ea7\u54c1\u7684\u52a0\u5de5\u80fd\u529b\u8fdb\u884c\u9002\u5f53\u7684\u8bc4\u4f30\u3002","robots":{"index":"index","follow":"follow","max-snippet":"max-snippet:-1","max-image-preview":"max-image-preview:large","max-video-preview":"max-video-preview:-1"},"canonical":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/einblick-2\/application\/der-grund-des-einflusses-auf-den-warming-grad-von-siliziumwafern-2\/","og_locale":"de_DE","og_type":"article","og_title":"\u591a\u6676\u7845\u8584\u819c\u4e28\u5f71\u54cd\u7845\u7247\u7fd8\u66f2\u5ea6\u7684\u5404\u79cd\u539f\u56e0","og_description":"\u7531\u4e8e\u8584\u819c\u5236\u5907\u5de5\u827a\u3001\u70ed\u5904\u7406\u8fc7\u7a0b\u548c\u819c\u539a\u8981\u6c42\u7684\u4e0d\u540c\uff0c\u9020\u6210\u8584\u819c\u5185\u90e8\u4e0d\u540c\u7684\u5e94\u529b\u72b6\u6001\uff0c\u6c89\u79ef\u8584\u819c\u7684\u886c\u5e95\u629b\u5149\u540e\u51e0\u4f55\u53c2\u6570\u4e5f\u5177\u6709\u4e0d\u540c\u7684\u5927\u5c0f\u3002\u53ef\u4ee5\u6070\u5f53\u9009\u62e9\u5236\u5907\u8584\u819c\u7684\u5de5\u827a\u6761\u4ef6\u3001\u70ed\u5904\u7406\u8fc7\u7a0b\u5b9e\u73b0\u5bf9\u8584\u819c\u6b8b\u4f59\u5e94\u529b\u7684\u63a7\u5236\uff0c\u540c\u65f6\u6839\u636e\u819c\u539a\u8981\u6c42\u7684\u4e0d\u540c\uff0c\u63a8\u7b97\u51fa\u886c\u5e95\u629b\u5149\u540e\u7fd8\u66f2\u5ea6\u7684\u53d8\u5316\u60c5\u51b5\uff0c\u5bf9\u4ea7\u54c1\u7684\u52a0\u5de5\u80fd\u529b\u8fdb\u884c\u9002\u5f53\u7684\u8bc4\u4f30\u3002","og_url":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/einblick-2\/application\/der-grund-des-einflusses-auf-den-warming-grad-von-siliziumwafern-2\/","og_site_name":"\u6e2f\u6e7e\u534a\u5bfc\u4f53","article_published_time":"2024-04-19T08:49:46+00:00","article_modified_time":"2024-05-13T02:16:53+00:00","og_image":[{"width":780,"height":490,"url":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/04\/39eab4126e833fe2e5a396e60db9ef0.png","type":"image\/png"}],"author":"jeff5829","twitter_card":"summary_large_image","twitter_misc":{"Verfasst von":"jeff5829","Gesch\u00e4tzte Lesezeit":"1\u00a0Minute"},"schema":{"@context":"https:\/\/schema.org","@graph":[{"@type":"Article","@id":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/the-reason-of-influencing-the-warping-degree-of-silicon-wafer\/#article","isPartOf":{"@id":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/the-reason-of-influencing-the-warping-degree-of-silicon-wafer\/"},"author":{"name":"jeff5829","@id":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/#\/schema\/person\/43ad5264cbf98ccd5ec1fbd4f6c3b0e5"},"headline":"\u591a\u6676\u7845\u8584\u819c\u4e28\u5f71\u54cd\u7845\u7247\u7fd8\u66f2\u5ea6\u7684\u5404\u79cd\u539f\u56e0","datePublished":"2024-04-19T08:49:46+00:00","dateModified":"2024-05-13T02:16:53+00:00","mainEntityOfPage":{"@id":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/the-reason-of-influencing-the-warping-degree-of-silicon-wafer\/"},"wordCount":9,"commentCount":0,"publisher":{"@id":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/#organization"},"image":{"@id":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/the-reason-of-influencing-the-warping-degree-of-silicon-wafer\/#primaryimage"},"thumbnailUrl":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/04\/39eab4126e833fe2e5a396e60db9ef0.png","articleSection":["\u5e94\u7528"],"inLanguage":"de","potentialAction":[{"@type":"CommentAction","name":"Comment","target":["https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/the-reason-of-influencing-the-warping-degree-of-silicon-wafer\/#respond"]}]},{"@type":"WebPage","@id":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/the-reason-of-influencing-the-warping-degree-of-silicon-wafer\/","url":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/the-reason-of-influencing-the-warping-degree-of-silicon-wafer\/","name":"\u591a\u6676\u7845\u8584\u819c\u4e28\u5f71\u54cd\u7845\u7247\u7fd8\u66f2\u5ea6\u7684\u5404\u79cd\u539f\u56e0 - \u6e2f\u6e7e\u534a\u5bfc\u4f53","isPartOf":{"@id":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/#website"},"primaryImageOfPage":{"@id":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/the-reason-of-influencing-the-warping-degree-of-silicon-wafer\/#primaryimage"},"image":{"@id":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/the-reason-of-influencing-the-warping-degree-of-silicon-wafer\/#primaryimage"},"thumbnailUrl":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/04\/39eab4126e833fe2e5a396e60db9ef0.png","datePublished":"2024-04-19T08:49:46+00:00","dateModified":"2024-05-13T02:16:53+00:00","description":"\u7531\u4e8e\u8584\u819c\u5236\u5907\u5de5\u827a\u3001\u70ed\u5904\u7406\u8fc7\u7a0b\u548c\u819c\u539a\u8981\u6c42\u7684\u4e0d\u540c\uff0c\u9020\u6210\u8584\u819c\u5185\u90e8\u4e0d\u540c\u7684\u5e94\u529b\u72b6\u6001\uff0c\u6c89\u79ef\u8584\u819c\u7684\u886c\u5e95\u629b\u5149\u540e\u51e0\u4f55\u53c2\u6570\u4e5f\u5177\u6709\u4e0d\u540c\u7684\u5927\u5c0f\u3002\u53ef\u4ee5\u6070\u5f53\u9009\u62e9\u5236\u5907\u8584\u819c\u7684\u5de5\u827a\u6761\u4ef6\u3001\u70ed\u5904\u7406\u8fc7\u7a0b\u5b9e\u73b0\u5bf9\u8584\u819c\u6b8b\u4f59\u5e94\u529b\u7684\u63a7\u5236\uff0c\u540c\u65f6\u6839\u636e\u819c\u539a\u8981\u6c42\u7684\u4e0d\u540c\uff0c\u63a8\u7b97\u51fa\u886c\u5e95\u629b\u5149\u540e\u7fd8\u66f2\u5ea6\u7684\u53d8\u5316\u60c5\u51b5\uff0c\u5bf9\u4ea7\u54c1\u7684\u52a0\u5de5\u80fd\u529b\u8fdb\u884c\u9002\u5f53\u7684\u8bc4\u4f30\u3002","breadcrumb":{"@id":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/the-reason-of-influencing-the-warping-degree-of-silicon-wafer\/#breadcrumb"},"inLanguage":"de","potentialAction":[{"@type":"ReadAction","target":["https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/the-reason-of-influencing-the-warping-degree-of-silicon-wafer\/"]}]},{"@type":"ImageObject","inLanguage":"de","@id":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/the-reason-of-influencing-the-warping-degree-of-silicon-wafer\/#primaryimage","url":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/04\/39eab4126e833fe2e5a396e60db9ef0.png","contentUrl":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/04\/39eab4126e833fe2e5a396e60db9ef0.png","width":780,"height":490},{"@type":"BreadcrumbList","@id":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/the-reason-of-influencing-the-warping-degree-of-silicon-wafer\/#breadcrumb","itemListElement":[{"@type":"ListItem","position":1,"name":"\u9996\u9875","item":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/"},{"@type":"ListItem","position":2,"name":"\u591a\u6676\u7845\u8584\u819c\u4e28\u5f71\u54cd\u7845\u7247\u7fd8\u66f2\u5ea6\u7684\u5404\u79cd\u539f\u56e0"}]},{"@type":"WebSite","@id":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/#website","url":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/","name":"Harbour\u6e2f\u6e7e\u534a\u5bfc\u4f53","description":"Greater China","publisher":{"@id":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/#organization"},"potentialAction":[{"@type":"SearchAction","target":{"@type":"EntryPoint","urlTemplate":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/?s={search_term_string}"},"query-input":"required name=search_term_string"}],"inLanguage":"de"},{"@type":"Organization","@id":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/#organization","name":"\u6e2f\u6e7e\u534a\u5bfc\u4f53","url":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/","logo":{"@type":"ImageObject","inLanguage":"de","@id":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/#\/schema\/logo\/image\/","url":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2023\/03\/cropped-cropped-cropped-\u6e2f\u6e7e\u534a\u5bfc\u4f53-logo.png","contentUrl":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2023\/03\/cropped-cropped-cropped-\u6e2f\u6e7e\u534a\u5bfc\u4f53-logo.png","width":380,"height":60,"caption":"\u6e2f\u6e7e\u534a\u5bfc\u4f53"},"image":{"@id":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/#\/schema\/logo\/image\/"}},{"@type":"Person","@id":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/#\/schema\/person\/43ad5264cbf98ccd5ec1fbd4f6c3b0e5","name":"jeff5829","image":{"@type":"ImageObject","inLanguage":"de","@id":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/#\/schema\/person\/image\/","url":"https:\/\/secure.gravatar.com\/avatar\/07276a17cfc0fa45dca16dd680ca6060143a60e8f4bd15c2584de1fdcec39601?s=96&d=mm&r=g","contentUrl":"https:\/\/secure.gravatar.com\/avatar\/07276a17cfc0fa45dca16dd680ca6060143a60e8f4bd15c2584de1fdcec39601?s=96&d=mm&r=g","caption":"jeff5829"},"url":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/author\/jeff5829\/"}]}},"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/7761","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/wp-json\/wp\/v2\/users\/3"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=7761"}],"version-history":[{"count":5,"href":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/7761\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":7767,"href":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/7761\/revisions\/7767"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/wp-json\/wp\/v2\/media\/7762"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=7761"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=7761"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=7761"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}