{"id":7648,"date":"2024-04-12T17:19:21","date_gmt":"2024-04-12T09:19:21","guid":{"rendered":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/?p=7648"},"modified":"2024-05-28T10:43:14","modified_gmt":"2024-05-28T02:43:14","slug":"the-film-was-prepared-by-sputtering-method","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/einblick-2\/application\/der-film-wurde-im-sputtering-verfahren-hergestellt\/","title":{"rendered":"Prinzip und Eigenschaften der D\u00fcnnschichtherstellung durch Sputtering-Verfahren"},"content":{"rendered":"<div data-elementor-type=\"wp-post\" data-elementor-id=\"7648\" class=\"elementor elementor-7648\" data-elementor-post-type=\"post\">\n\t\t\t\t\t\t<section class=\"elementor-section elementor-top-section elementor-element elementor-element-887b02e elementor-section-boxed elementor-section-height-default elementor-section-height-default\" data-id=\"887b02e\" data-element_type=\"section\" data-settings=\"{&quot;jet_parallax_layout_list&quot;:[]}\">\n\t\t\t\t\t\t<div class=\"elementor-container elementor-column-gap-default\">\n\t\t\t\t\t<div class=\"elementor-column elementor-col-100 elementor-top-column elementor-element elementor-element-c4390b6\" data-id=\"c4390b6\" data-element_type=\"column\">\n\t\t\t<div class=\"elementor-widget-wrap elementor-element-populated\">\n\t\t\t\t\t\t<section class=\"elementor-section elementor-inner-section elementor-element elementor-element-0103fa9 elementor-section-boxed elementor-section-height-default elementor-section-height-default\" data-id=\"0103fa9\" data-element_type=\"section\" data-settings=\"{&quot;jet_parallax_layout_list&quot;:[]}\">\n\t\t\t\t\t\t<div class=\"elementor-container elementor-column-gap-no\">\n\t\t\t\t\t<div class=\"elementor-column elementor-col-50 elementor-inner-column elementor-element elementor-element-6d0c635\" data-id=\"6d0c635\" data-element_type=\"column\">\n\t\t\t<div class=\"elementor-widget-wrap elementor-element-populated\">\n\t\t\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-e5acb31 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"e5acb31\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t<style>\/*! elementor - v3.20.0 - 20-03-2024 *\/\n.elementor-heading-title{padding:0;margin:0;line-height:1}.elementor-widget-heading .elementor-heading-title[class*=elementor-size-]>a{color:inherit;font-size:inherit;line-height:inherit}.elementor-widget-heading .elementor-heading-title.elementor-size-small{font-size:15px}.elementor-widget-heading .elementor-heading-title.elementor-size-medium{font-size:19px}.elementor-widget-heading .elementor-heading-title.elementor-size-large{font-size:29px}.elementor-widget-heading .elementor-heading-title.elementor-size-xl{font-size:39px}.elementor-widget-heading .elementor-heading-title.elementor-size-xxl{font-size:59px}<\/style><h1 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">Prinzip und Eigenschaften der D\u00fcnnschichtherstellung durch Sputtering-Verfahren<\/h1>\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-9636a43 elementor-widget elementor-widget-post-info\" data-id=\"9636a43\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"post-info.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t<link rel=\"stylesheet\" href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/plugins\/elementor\/assets\/css\/widget-icon-list.min.css\"><link rel=\"stylesheet\" href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/plugins\/elementor-pro\/assets\/css\/widget-theme-elements.min.css\">\t\t<ul class=\"elementor-icon-list-items elementor-post-info\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t<li class=\"elementor-icon-list-item elementor-repeater-item-577f4c4\" itemprop=\"datePublished\">\n\t\t\t\t\t\t<a href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/2024\/04\/12\/\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<span class=\"elementor-icon-list-text elementor-post-info__item elementor-post-info__item--type-date\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<time>2024-04-12<\/time>\t\t\t\t\t<\/span>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/a>\n\t\t\t\t<\/li>\n\t\t\t\t<\/ul>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-e42fe72 elementor-widget elementor-widget-image\" data-id=\"e42fe72\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"image.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t<style>\/*! 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elementor - v3.20.0 - 20-03-2024 *\/\n.elementor-widget-text-editor.elementor-drop-cap-view-stacked .elementor-drop-cap{background-color:#69727d;color:#fff}.elementor-widget-text-editor.elementor-drop-cap-view-framed .elementor-drop-cap{color:#69727d;border:3px solid;background-color:transparent}.elementor-widget-text-editor:not(.elementor-drop-cap-view-default) .elementor-drop-cap{margin-top:8px}.elementor-widget-text-editor:not(.elementor-drop-cap-view-default) .elementor-drop-cap-letter{width:1em;height:1em}.elementor-widget-text-editor .elementor-drop-cap{float:left;text-align:center;line-height:1;font-size:50px}.elementor-widget-text-editor .elementor-drop-cap-letter{display:inline-block}<\/style>\t\t\t\t<p>Die Sputtering-Technologie ist<a href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/einblick-2\/application\/was-ist-physikalische-gasphasenabscheidung\/\">Physikalische Abscheidung aus der Gasphase (PVD)<\/a>Eine Art, kann f\u00fcr die Herstellung von Isolatoren, Metalle und andere d\u00fcnne Filme, Verbundwerkstoff-Filme k\u00f6nnen auch vorbereitet werden, die Theorie kann gesputtert werden fast alle genug, um ein festes Ziel Metalle, Legierungen, Polymer-Verbindungen und keramischen Materialien, etc., die Vorbereitung von d\u00fcnnen Filmen, schnell, niedriger Temperatur, kleine Sch\u00e4den an den Film; Vorbereitung von d\u00fcnnen Filmen durch die Filmschicht Einheitlichkeit, interne nicht-por\u00f6se, hohe Dichte, gute Haftung mit dem Substrat, der Film ist von hoher Qualit\u00e4t.<a href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/einblick-2\/application\/was-ist-magnetron-sputtern-2\/\">Magnetron-Sputter-Technologie<\/a>Die vorgeschlagene Sputterrate und die Targetausnutzung wurden erheblich verbessert und finden in der wissenschaftlichen Forschung und der industriellen Produktion breite Anwendung.<\/p>\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-49b40b7 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"49b40b7\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">Gasglimmentladung<\/h2>\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-21946cf elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"21946cf\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t<p>Sputtern Prozess ist auf der Grundlage von Gas Glimmentladung etabliert, Glimmentladung ist eine Art von Gasentladung, ist eine Art von Ionenbeschuss Kathode zu sekund\u00e4ren Elektronen zu produzieren, um eine stabile selbsterhaltende Entladung aufgrund der Sputtern Kammer noch in einer kleinen Anzahl von Ionen und Elektronen zu erhalten, so f\u00fcgen Sie einfach die negative Spannung, noch nicht eine Glimmentladung produziert, zu diesem Zeitpunkt der Strom ist klein, der Strom ist fast unver\u00e4ndert, um in der Bewegung der Anzahl der Ladungen bestimmen die Teilnahme Die Stromst\u00e4rke, diese Zeit ist f\u00fcr die dunkle Entladung genannt. Wenn die Spannung steigt, nimmt die Energie der Elektronen und geladenen Ionen in der Sputterkammer allm\u00e4hlich zu, und wenn die Elektronen und geladenen Ionen im elektrischen Feld beschleunigt werden, sto\u00dfen sie st\u00e4ndig mit den Elektroden und den elektrifizierten Gasatomen zusammen, und die Anzahl der geladenen Teilchen steigt kontinuierlich, und der Strom nimmt zu. Anschlie\u00dfend steigt mit der Zunahme der Zahl der geladenen Teilchen auch der Strom langsam an, die Spannung bleibt unver\u00e4ndert; dieser Entladungsbereich wird als \"Thomson-Entladungszone\" bezeichnet. Schlie\u00dflich ist die Entwicklung der \"Lawine\", positive weg von der Kathode Zieloberfl\u00e4che weiterhin die sekund\u00e4ren Elektronen bombardiert werden, die Freisetzung von sekund\u00e4ren Elektronen und Sputtern Kammer in der Gas-Kollision, die Bildung von mehr positive Ionen, positive Ionen, gefolgt von Bombardierung des Ziels durch die sekund\u00e4ren Elektronen erzeugt, und dann mit den Gasatomen kollidieren, um mehr positive Ionen zu bilden. Wenn der Entladungsprozess des Systems selbsterhaltend ist, beginnt das Gas zu gl\u00fchen, die Spannung nimmt ab und der Strom steigt pl\u00f6tzlich an, was gew\u00f6hnlich als \"normale Entladungszone\" bezeichnet wird. Danach wird die Leistung erh\u00f6ht, und die Strom- und Spannungsdichte zwischen den beiden Polen nimmt zu. An diesem Punkt stabilisiert sich die Glimmentladung, und dieser Bereich wird als \"anomaler Glimmentladungsbereich\" bezeichnet, der in der Sputtertechnologie tats\u00e4chlich verwendet wird. Danach folgt die \"Bogenentladungszone\", d. h. der Bereich, in dem die Spannung zwischen den Polen nach der anormalen Glimmentladungszone auf einen sehr niedrigen Wert abf\u00e4llt.<\/p>\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-89f3e7c elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"89f3e7c\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">DC-Magnetron-Sputtern<\/h2>\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-e026a29 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"e026a29\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t<p>Bei einer Niederspannungs-Gleichstrom-Glimmentladung ist der Prozess in f\u00fcnf Zonen unterteilt: die Kathodenzone, die negative Gl\u00fchzone, die Faradaysche Dunkelzone, die positive S\u00e4ulenzone und die Anodenzone. Eine dieser Zonen, die anomale Glimmentladung, ist diejenige, in der die abgeschiedene Schicht tats\u00e4chlich zerst\u00e4ubt wird. Beim Sputtern fungiert das Substrat als Anode, die in der Regel in der negativen Gl\u00fchzone liegt, und das Target als Kathode. Da die Energie und Geschwindigkeit von Elektronen viel h\u00f6her ist als die von Ionen, bildet sich w\u00e4hrend der Glimmentladung eine Plasmamantelschicht, und aufgrund des vorhandenen Mantelpotentials wird ein gro\u00dfer Teil der an der Elektrode angelegten Spannung vom Kathodenmantelpotential aufgenommen. Der Aufbau des Plasmah\u00fcllenpotentials bewirkt, dass die Ionen, die die Kathode erreichen, entsprechend beschleunigt werden und Energie gewinnen. Daher haben die Ionen eine hohe Energie, wenn sie die Oberfl\u00e4che der Kathode durch den Plasmabereich der Glimmentladung erreichen, und erzeugen einen Bombardierungseffekt auf der Oberfl\u00e4che der Kathode, so dass die Molek\u00fcle und Atome des Kathodenmaterials herausgesputtert werden und das Sputtering-Ph\u00e4nomen auftritt. Diese Molek\u00fcle und Atome haben eine bestimmte kinetische Energie und werden in eine bestimmte Richtung auf die Oberfl\u00e4che des Werkst\u00fccks geschossen, um einen d\u00fcnnen Film zu bilden.<\/p><p>Das Sputtern ist ein komplexer Prozess, der von verschiedenen Ph\u00e4nomenen des Ionenbeschusses begleitet wird. Die Grundvoraussetzung f\u00fcr die Abscheidung von D\u00fcnnschichten besteht darin, dass die meisten der Teilchen, die bei der Hochgeschwindigkeitskollision der einfallenden Teilchen von der Festk\u00f6rperoberfl\u00e4che ausgesto\u00dfen werden, neutrale Atome oder Molek\u00fcle sind. Dar\u00fcber hinaus sind die abgestrahlten Sekund\u00e4relektronen die Elementarteilchen, die die Glimmentladung beim Sputtern aufrechterhalten, und ihre Energie ist gleich dem Potenzial des Targets.<\/p><p>Das Diodensputtern ist das fr\u00fcheste Sputterverfahren f\u00fcr technische Anwendungen. Die Sputtervorrichtung des Diodensputterns besteht aus zwei Elektroden, der Kathode und der Anode, weshalb es auch als kathodisches Sputtern oder Gleichstromsputtern bezeichnet wird.<\/p><p>Da die Gasdissoziationsrate beim dipolaren Sputtern gering ist (in 0,3 % ~ 0,5%), ist die Abscheidungsrate langsam, die Ausnutzung des Zielmaterials gering, die Elektronen lassen die Substrattemperatur ansteigen und andere Unzul\u00e4nglichkeiten, so dass die Sputtertechnologie zun\u00e4chst nicht weit verbreitet war. Um diese Unzul\u00e4nglichkeiten auszugleichen, wurde in den 1970er Jahren die Magnetronsputtertechnologie eingef\u00fchrt. Durch die Magnetron-Sputtertechnik wird die Besch\u00e4digung der Schicht durch die Hitze der auf das Substrat auftreffenden Sekund\u00e4relektronen gemildert und die Sputterrate der dipolaren Sputtertechnik verbessert. Aus diesem Grund hat die Magnetron-Sputtertechnik unmittelbar nach ihrer Einf\u00fchrung eine rasche Entwicklung und breite Anwendung erfahren und ist inzwischen zu einer der wichtigsten Technologien f\u00fcr die Oberfl\u00e4chenbeschichtung von Materialien geworden.<\/p><p>Der Magnet ist an der R\u00fcckseite des Targets angebracht, so dass die Oberfl\u00e4che der magnetischen Kraftlinie, die aus dem Target herausdringt, eine Struktur bildet, die senkrecht zum elektrischen Feld steht und schlie\u00dflich zur Targetoberfl\u00e4che zur\u00fcckkehrt. Durch die bindende Wirkung des Magnetfelds auf die Sekund\u00e4relektronen auf der Targetoberfl\u00e4che wird die Plasmakonzentration in der N\u00e4he der Targetoberfl\u00e4che deutlich erh\u00f6ht, wodurch das Problem der geringen Abscheidungsrate beim herk\u00f6mmlichen Dipolsputtern wirksam gel\u00f6st wird. Elektronen in den elektrischen und magnetischen Feldern, die Flugbahn gebogen ist, in den Prozess der fliegenden auf das Substrat Elektronen und Gasatome Kollision, so dass die Gasmolek\u00fcle ionisierten Kationen und Elektronen, Elektronen auf die Anode, und Kationen werden unter der Wirkung des elektrischen Feldes auf das Ziel beschleunigt werden, und hohe Energie Bombardement der Oberfl\u00e4che des Ziels, so dass das Ziel Sputtern, Sputtern aus dem neutralen Ziel Atome (oder Molek\u00fcle) in das Substrat Abscheidung des Films Bildung.<\/p>\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-edde6a7 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"edde6a7\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">reaktive Zerst\u00e4ubung<\/h2>\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-4eb24dd elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"4eb24dd\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t<p>Handelt es sich bei der herzustellenden Schicht um eine Verbindung, so gibt es zwei Methoden: (1) die direkte Zerst\u00e4ubung des Zielmaterials der Verbindung und (2) die Herstellung durch reaktive Zerst\u00e4ubung. Da sich die Molek\u00fcle der erstgenannten Verbindung nach dem Sputtern in einer Plasmaatmosph\u00e4re durch den Aufprall von Elektronen zersetzen k\u00f6nnen und der erhaltene Endfilm nicht die gleiche chemische Zusammensetzung wie das Zielmaterial aufweist, wird der Film manchmal durch reaktives Sputtern hergestellt. Das reaktive Sputtern wird in der Regel zum Sputtern von Verbundschichten wie Oxiden oder Nitriden (Tantalnitrid, Siliziumnitrid, supraleitende Schichten, transparente leitf\u00e4hige ITO-Schichten usw.) verwendet. W\u00e4hrend des Versuchs wird dem Sputtergas eine geeignete Menge an reaktivem Gas (z. B. Stickstoff, Sauerstoff usw.) beigemischt, und der Stickstoff oder Sauerstoff wird in der Sputterkammer in negative Ionen umgewandelt, die mit den beschossenen Atomen oder Atomgruppen des Zielmaterials reagieren und Verbindungen bilden. Der Vorteil des reaktiven Sputterns besteht darin, dass die chemische Zusammensetzung des Films durch die Einstellung der Prozessparameter zum Zeitpunkt des Sputterns gesteuert werden kann, wobei die Komponenten des Films so eingestellt werden, dass eine genaue Kontrolle der Filmkomponenten erreicht wird. Nach der Ablagerungsrate der Reaktion Sputtern kann in drei Kategorien unterteilt werden: \u00dcbergang Modus, Metall-Modus, Oxid-Modus.<\/p>\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-41d7cc5 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"41d7cc5\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">RF-Sputtern<\/h2>\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-04a2a87 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"04a2a87\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t<p>Das Hochfrequenzsputtern (RF), auch als Hochfrequenzsputtern bekannt, wurde f\u00fcr das Sputtern von Isolierstoffen erfunden. Das Dioden- und Magnetronsputtern kann Metalle und Halbleiter, aber keine Isolatoren zerst\u00e4uben, da das Target durch die auf ein Isolator-Target auftreffenden Ionen elektrisch aufgeladen wird, und wenn das Potential des Targets allm\u00e4hlich ansteigt, wird das ionenbeschleunigte elektrische Feld immer kleiner, bis das Sputtern aufh\u00f6rt und die Glimmentladung aufh\u00f6rt, was dazu f\u00fchrt, dass das Sputtern nicht fortgesetzt werden kann, und das ist der Grund, warum Dioden- und Magnetronsputtern nur Leiter und Halbleiter, aber keine Isolator-D\u00fcnnschichten zerst\u00e4uben kann. Aus diesem Grund k\u00f6nnen beim Diodensputtern und Magnetronsputtern nur Leiter und Halbleiter, nicht aber d\u00fcnne Schichten von Isolatoren gesputtert werden, was zur Entwicklung der HF-Sputtertechnologie f\u00fchrte.<br \/>Das Prinzip der Hochfrequenzsputtern ist, dass, wenn eine Hochfrequenz-Spannung an das Ziel angelegt wird, wenn eine sinusf\u00f6rmige Welle auf das Ziel in der positiven Halbzyklus angewendet wird, weil die Masse der Elektronen ist kleiner als die Masse der Ionen, die Elektronen sind leichter zu bewegen als die positiven Ionen, ist die Mobilit\u00e4t h\u00f6her, und daher sind die Elektronen in der Lage, auf das Ziel in einem sehr kurzen Zeitraum zu fliegen, um die positiven Ladungen auf der Oberfl\u00e4che des Ziels angesammelt zu neutralisieren und eine gro\u00dfe Anzahl von Elektronen auf der Oberfl\u00e4che des Ziels, so dass das Ziel weist ein negatives Potenzial und zieht positive Ionen. Fahren Sie fort, die Oberfl\u00e4che des Targets mit Sputtering zu beschie\u00dfen, so dass der positive und negative Halbzyklus, das Sputtering-Ph\u00e4nomen, weiterhin erzeugt wird. Das elektrische Feld des Hochfrequenz-Wechselstroms (HFAC) bewirkt, dass das Targetmaterial abwechselnd mit Ionen und Elektronen beschossen wird, und der Elektronensto\u00df im elektrischen Hochfrequenzfeld erh\u00f6ht die Ionisierungswahrscheinlichkeit, so dass die Sputterrate des HF-Sputterns h\u00f6her ist als die des Dipolsputterns. Beim HF-Sputtern k\u00f6nnen nicht nur Isolatoren, sondern auch Leiter durch HF-Sputtern zerst\u00e4ubt werden.<\/p>\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-39db460 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"39db460\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t<p>Neben den oben genannten Sputterverfahren gibt es noch das Ionensputtern, das Bias-Sputtern, das ECR-Sputtern und so weiter.<\/p>\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-2b45ca4 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"2b45ca4\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t<p>Wir bieten <a href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/kundenspezifische-dienstleistungen-2\/beschichtungstechnik-dunnschicht-laminierung-2\/physikalische-abscheidung-aus-der-gasphase-contract-processing-2\/\">Kundenspezifische Dienstleistungen in der Sputtering-Gie\u00dferei<\/a>k\u00f6nnen Sie gerne einen Kommentar hinterlassen.<\/p>\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-43812a4 uael-mobile-wpf-button-justify uael-wpf-style-box uael-wpf-input-size-sm uael-wpf-button-left uael-wpf-btn-size-sm uael-wpf-highlight-style-default elementor-widget elementor-widget-uael-wpf-styler\" data-id=\"43812a4\" data-element_type=\"widget\" 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\"\t\t<\/a>\n\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/article>\n\t\t\t\t<article class=\"elementor-post elementor-grid-item post-7355 page type-page status-publish has-post-thumbnail hentry category-process tag-process\">\n\t\t\t\t<a class=\"elementor-post__thumbnail__link\" href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/kundenspezifische-dienstleistungen-2\/beschichtungstechnik-dunnschicht-laminierung-2\/physikalische-abscheidung-aus-der-gasphase-contract-processing-2\/\" tabindex=\"-1\" >\n\t\t\t<div class=\"elementor-post__thumbnail\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" width=\"300\" height=\"200\" src=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/03\/59c77cbc-ce7b-4fe7-99ce-ee924312b932-300x200.png\" class=\"attachment-medium size-medium wp-image-7357\" alt=\"\" srcset=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/03\/59c77cbc-ce7b-4fe7-99ce-ee924312b932-300x200.png 300w, 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>\n\t\t\t\tPhysikalische Abscheidung aus der Gasphase (PVD) - Generative Verarbeitung\t\t\t<\/a>\n\t\t<\/h4>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-post__excerpt\">\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\n\t\t<a class=\"elementor-post__read-more\" href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/kundenspezifische-dienstleistungen-2\/beschichtungstechnik-dunnschicht-laminierung-2\/physikalische-abscheidung-aus-der-gasphase-contract-processing-2\/\" aria-label=\"Lesen Sie mehr \u00fcber Physical Vapour Deposition (PVD) Subcontracting\" tabindex=\"-1\" >\n\t\t\tMehr lesen \"\t\t<\/a>\n\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/article>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-bacec6c elementor-widget-divider--view-line elementor-widget elementor-widget-divider\" data-id=\"bacec6c\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"divider.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t<style>\/*! elementor - v3.20.0 - 20-03-2024 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Biowissenschaft eingesetzt. Unsere hochwertigen Produkte bieten hochaufl\u00f6sende Bildgebungsm\u00f6glichkeiten f\u00fcr eine Vielzahl von Probentypen und -gr\u00f6\u00dfen.<\/p>\n\t\t<\/div>\n\t\t\n\t\t<a class=\"elementor-post__read-more\" href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/einblick-2\/application\/anwendung-von-siliziumnitrid-dunnschicht-fenstern-2\/\" aria-label=\"Lesen Sie mehr \u00fcber Siliziumnitrid-D\u00fcnnschicht-Fensteranwendungen Materialwissenschaft\u4e28Halbleiter\u4e28Biowissenschaft\" tabindex=\"-1\" >\n\t\t\tMehr lesen \"\t\t<\/a>\n\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/article>\n\t\t\t\t<article class=\"elementor-post elementor-grid-item post-7312 post type-post status-publish format-standard has-post-thumbnail hentry category-application\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-post__text\">\n\t\t\t\t<h4 class=\"elementor-post__title\">\n\t\t\t<a href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/einblick-2\/application\/was-ist-das-film-abscheidungsverfahren\/\" >\n\t\t\t\tWas ist das Verfahren der D\u00fcnnschichtabscheidung?\t\t\t<\/a>\n\t\t<\/h4>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-post__excerpt\">\n\t\t\t<p>Was ist D\u00fcnnschichttechnik? Die Technologie der D\u00fcnnschichtabscheidung ist ein wichtiger<\/p>\n\t\t<\/div>\n\t\t\n\t\t<a class=\"elementor-post__read-more\" href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/einblick-2\/application\/was-ist-das-film-abscheidungsverfahren\/\" aria-label=\"Lesen Sie mehr \u00fcber Was ist D\u00fcnnschichtabscheidung?\" tabindex=\"-1\" >\n\t\t\tMehr lesen \"\t\t<\/a>\n\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/article>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-db1b6ea elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"db1b6ea\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t<p class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\"><a href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/einblicke-2\/\">Mehr 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