{"id":7571,"date":"2024-04-08T10:51:43","date_gmt":"2024-04-08T02:51:43","guid":{"rendered":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/?p=7571"},"modified":"2024-05-28T10:14:16","modified_gmt":"2024-05-28T02:14:16","slug":"effect-of-sputtering-coating-on-thin-films","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/einblick-2\/application\/\u6e85\u5c04\u9540\u819c-2\/","title":{"rendered":"Welche Faktoren beeinflussen den Sputterbeschichtungsprozess von D\u00fcnnschichtmaterialien?"},"content":{"rendered":"<div data-elementor-type=\"wp-post\" data-elementor-id=\"7571\" class=\"elementor elementor-7571\" data-elementor-post-type=\"post\">\n\t\t\t\t\t\t<section class=\"elementor-section elementor-top-section elementor-element elementor-element-461cc61 elementor-section-boxed elementor-section-height-default elementor-section-height-default\" data-id=\"461cc61\" data-element_type=\"section\" data-settings=\"{&quot;jet_parallax_layout_list&quot;:[]}\">\n\t\t\t\t\t\t<div class=\"elementor-container elementor-column-gap-default\">\n\t\t\t\t\t<div class=\"elementor-column elementor-col-100 elementor-top-column elementor-element elementor-element-384b55d\" data-id=\"384b55d\" data-element_type=\"column\">\n\t\t\t<div class=\"elementor-widget-wrap elementor-element-populated\">\n\t\t\t\t\t\t<section class=\"elementor-section elementor-inner-section elementor-element elementor-element-13285ed elementor-section-boxed elementor-section-height-default elementor-section-height-default\" data-id=\"13285ed\" data-element_type=\"section\" data-settings=\"{&quot;jet_parallax_layout_list&quot;:[]}\">\n\t\t\t\t\t\t<div class=\"elementor-container elementor-column-gap-no\">\n\t\t\t\t\t<div class=\"elementor-column elementor-col-50 elementor-inner-column elementor-element elementor-element-44dd20d\" data-id=\"44dd20d\" data-element_type=\"column\">\n\t\t\t<div class=\"elementor-widget-wrap elementor-element-populated\">\n\t\t\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-429f062 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"429f062\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t<style>\/*! elementor - v3.20.0 - 20-03-2024 *\/\n.elementor-heading-title{padding:0;margin:0;line-height:1}.elementor-widget-heading .elementor-heading-title[class*=elementor-size-]>a{color:inherit;font-size:inherit;line-height:inherit}.elementor-widget-heading .elementor-heading-title.elementor-size-small{font-size:15px}.elementor-widget-heading .elementor-heading-title.elementor-size-medium{font-size:19px}.elementor-widget-heading .elementor-heading-title.elementor-size-large{font-size:29px}.elementor-widget-heading .elementor-heading-title.elementor-size-xl{font-size:39px}.elementor-widget-heading .elementor-heading-title.elementor-size-xxl{font-size:59px}<\/style><h1 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">Welche Faktoren beeinflussen den Sputterbeschichtungsprozess von D\u00fcnnschichtmaterialien?<\/h1>\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-d1ad59a elementor-widget elementor-widget-post-info\" data-id=\"d1ad59a\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"post-info.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t<link rel=\"stylesheet\" href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/plugins\/elementor\/assets\/css\/widget-icon-list.min.css\"><link rel=\"stylesheet\" href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/plugins\/elementor-pro\/assets\/css\/widget-theme-elements.min.css\">\t\t<ul class=\"elementor-icon-list-items elementor-post-info\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t<li class=\"elementor-icon-list-item elementor-repeater-item-577f4c4\" itemprop=\"datePublished\">\n\t\t\t\t\t\t<a href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/2024\/04\/08\/\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<span class=\"elementor-icon-list-text elementor-post-info__item elementor-post-info__item--type-date\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<time>2024-04-08<\/time>\t\t\t\t\t<\/span>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/a>\n\t\t\t\t<\/li>\n\t\t\t\t<\/ul>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-c73d98a elementor-widget elementor-widget-image\" data-id=\"c73d98a\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"image.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t<style>\/*! elementor - v3.20.0 - 20-03-2024 *\/\n.elementor-widget-image{text-align:center}.elementor-widget-image a{display:inline-block}.elementor-widget-image a img[src$=\".svg\"]{width:48px}.elementor-widget-image img{vertical-align:middle;display:inline-block}<\/style>\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<img fetchpriority=\"high\" decoding=\"async\" width=\"1024\" height=\"768\" src=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/04\/d4bd772da2d2f10b5d0b7af283bfaf3-1024x768.png\" class=\"attachment-large size-large wp-image-7572\" alt=\"\" srcset=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/04\/d4bd772da2d2f10b5d0b7af283bfaf3-1024x768.png 1024w, https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/04\/d4bd772da2d2f10b5d0b7af283bfaf3-300x225.png 300w, https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/04\/d4bd772da2d2f10b5d0b7af283bfaf3-768x576.png 768w, https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/04\/d4bd772da2d2f10b5d0b7af283bfaf3-1536x1152.png 1536w, https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/04\/d4bd772da2d2f10b5d0b7af283bfaf3-16x12.png 16w, https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/04\/d4bd772da2d2f10b5d0b7af283bfaf3.png 1920w\" sizes=\"(max-width: 1024px) 100vw, 1024px\" \/>\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-1b88541 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"1b88541\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t<style>\/*! elementor - v3.20.0 - 20-03-2024 *\/\n.elementor-widget-text-editor.elementor-drop-cap-view-stacked .elementor-drop-cap{background-color:#69727d;color:#fff}.elementor-widget-text-editor.elementor-drop-cap-view-framed .elementor-drop-cap{color:#69727d;border:3px solid;background-color:transparent}.elementor-widget-text-editor:not(.elementor-drop-cap-view-default) .elementor-drop-cap{margin-top:8px}.elementor-widget-text-editor:not(.elementor-drop-cap-view-default) .elementor-drop-cap-letter{width:1em;height:1em}.elementor-widget-text-editor .elementor-drop-cap{float:left;text-align:center;line-height:1;font-size:50px}.elementor-widget-text-editor .elementor-drop-cap-letter{display:inline-block}<\/style>\t\t\t\t<p>Mit hochenergetischen Teilchen (in der Regel durch das elektrische Feld beschleunigt positive Ionen) Bombardement der festen Oberfl\u00e4che, die feste Oberfl\u00e4che der Atome, Molek\u00fcle und die einfallenden hochenergetischen Teilchen zu tauschen kinetische Energie von der festen Oberfl\u00e4che spritzen aus dem Ph\u00e4nomen bekannt als Sputtern. Die gesputterten Atome (oder Atomgruppen) haben eine bestimmte Energie, k\u00f6nnen sie wieder abgeschieden werden Koh\u00e4sion auf der Oberfl\u00e4che des festen Substrats, um einen d\u00fcnnen Film, bekannt als Sputtern Beschichtung bilden.<\/p>\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-5ba7830 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"5ba7830\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">Sputtern mit D\u00fcnnschichtmaterialien<\/h2>\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-989d7db elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"989d7db\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t<p>Die makroskopischen Eigenschaften von Werkstoffen stehen in engem Zusammenhang mit ihrer Mikrostruktur. Daher ist es besonders wichtig, die Organisationsstruktur des Werkstoffs mit wirtschaftlichen und wirksamen Methoden zu ver\u00e4ndern, um der Oberfl\u00e4che des Werkstoffs neue Verbundeigenschaften zu verleihen. In den fr\u00fchen Stadien der Pr\u00e4paration von D\u00fcnnschichtmaterialien durch Sputtern sind die Qualit\u00e4t der Sputterquelle, die Energie- und Winkelverteilung der gesputterten Atome sowie die Sputterausbeute und -rate die beeinflussenden Faktoren. In den sp\u00e4teren Phasen des Pr\u00e4parationsprozesses sind Faktoren wie Sputtergas, Sputter- und Substratspannung, Substrattemperatur, Targetqualit\u00e4t, Vakuum und Sputter-Arbeitsluftdruck die Haupteinflussfaktoren f\u00fcr die Zusammensetzung und Organisation der D\u00fcnnschicht. Bei der Gew\u00e4hrleistung der Stabilit\u00e4t der Organisation des D\u00fcnnschichtmaterials sind Homogenit\u00e4t und Reinheit ebenfalls wichtige Indikatoren, die ber\u00fccksichtigt werden m\u00fcssen, da sie f\u00fcr die Auswahl und Verbesserung verschiedener Sputterbeschichtungstechnologien entscheidend sind.<\/p>\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-bd24daf elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"bd24daf\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">Sputtering und Materialeffekte<\/h2>\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-226a0e0 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"226a0e0\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t<p><strong>1. das Sputtern von Metallen und Halbleitern<\/strong><\/p><p>Sekund\u00e4rzerst\u00e4ubung, Terti\u00e4rzerst\u00e4ubung und<a href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/einblick-2\/application\/was-ist-magnetron-sputtern-2\/\">Magnetronzerst\u00e4ubung<\/a>Diese g\u00e4ngigen Sputterverfahren unterscheiden sich haupts\u00e4chlich durch die Elektrodenstruktur.<\/p><p>Bei der gew\u00f6hnlichen Gleichstrom-Sekund\u00e4rzerst\u00e4ubung wird ein negatives Gleichstrompotenzial direkt an das Zerst\u00e4ubungstarget angelegt und der Substratrahmen des beschichteten Werkst\u00fccks als Anode platziert. Die Atome des Zielmaterials werden aus dem Kathoden-Target gesputtert und auf der Oberfl\u00e4che des Substrats abgeschieden, um eine d\u00fcnne Schicht zu bilden. W\u00e4hrend des Sputterprozesses befindet sich die Ar-Entladung in einem anormalen Glimmentladungszustand, und die Entladungsglut bedeckt die gesamte Kathodentargetoberfl\u00e4che, so dass die Target-Zerst\u00e4ubung und die Substratoberfl\u00e4chenfilmbildung gleichm\u00e4\u00dfig erfolgen. Im Zustand der abnormalen Glimmentladung kann die Abscheidungsrate durch Einstellen der Sputterspannung und \u00c4ndern des Sputterstroms ver\u00e4ndert werden. Der Vorteil der DC-Sekund\u00e4rzerst\u00e4ubung besteht darin, dass das Ger\u00e4t einfach ist und sich f\u00fcr die Zerst\u00e4ubung von Metall- und Halbleitertargets eignet. Allerdings ist die Abscheiderate beim Sputtern gering; aufgrund der hohen direkten Entladungsspannung ist das Substrat sehr leicht zu besch\u00e4digen den Temperaturanstieg; die Auswahl der Luftdruckbedingungen sind hart, Niederdruck-Entladung kann nicht beibehalten werden, die Qualit\u00e4t des Films durch hohen Druck abgeschieden ist schlecht; Sputtern von isolierenden Materialien ist nicht anwendbar.<\/p><p>Bei der Gleichstrom-Terti\u00e4rzerst\u00e4ubung werden eine hei\u00dfe Filamentkathode und eine Anode in eine Sekund\u00e4rzerst\u00e4ubungsvorrichtung eingebracht, wobei die Filamentkathode geerdet ist und die Anode 50-100 V aufweist. Das Filament emittiert Elektronen bei hohen Temperaturen, die durch ein elektrisches Feld beschleunigt werden und dann mit den Ar-Atomen w\u00e4hrend ihrer Bewegung in Richtung Anode kollidieren und ionisieren, um eine nicht selbsterhaltende Hei\u00dfkathodenbogenentladung zu erzeugen. Das dreistufige Sputtern kann den Entladungsstrom erh\u00f6hen, den Ionenstrom und die Ionenladung vollst\u00e4ndig unabh\u00e4ngig steuern und die Entladung bei niedriger Spannung aufrechterhalten, was im Vergleich zum zweistufigen Sputtern besser ist. Gleichzeitig verursacht das Terti\u00e4rsputtern weniger Strahlungssch\u00e4den am Substrat und kann zur Herstellung d\u00fcnner Schichten f\u00fcr integrierte Schaltungen und Halbleiterbauelemente verwendet werden. Allerdings ist die Struktur der Vorrichtung komplexer als die der Kaltkathodenentladung, und es ist schwierig, ein Plasma mit einer gro\u00dfen Bedeckungsfl\u00e4che und gleichm\u00e4\u00dfiger Dichte herzustellen, und es gibt Probleme wie den Filamentverbrauch, so dass dieses Herstellungsverfahren in den letzten Jahren fast nicht mehr verwendet wird.<\/p><p>Magnetron-Sputter-Technologie ist in der sekund\u00e4ren Sputtern Kathoden-Target-Oberfl\u00e4che, um eine ringf\u00f6rmige geschlossene Magnetfeld, das eine parallel zu der Oberfl\u00e4che des Ziels der transversalen Magnetfeld-Verteilung hat, wird das Magnetfeld durch das Ziel K\u00f6rper des Magneten erzeugt, ist derzeit einer der Mainstream-Technologie f\u00fcr die Beschichtung. Magnetron-Sputter-Beschichtung Ger\u00e4testruktur ist in der Kathode Zielmagnetfeld, die Nutzung der physikalischen Effekte des Magnetfeldes auf die Bindung von Elektronen und effektiv verl\u00e4ngern die Elektronenflugbahn, die die Elektrode und die Kollisionsrate von Gasatomen erh\u00f6ht, um die Rate der Gasdissoziation zu verbessern, so dass mehr energetische Ionen Bombardement des Zielmaterials. Nach dem Prinzip der Magnetronsputtern gesehen werden kann, ist der Schl\u00fcssel zum Magnetronsputtern Technologie, um eine wirksame Elektronenstrahl-Falle zu etablieren. Das Magnetronsputtern ist eine Hochgeschwindigkeits- und Niedertemperatur-Sputtertechnologie; der Arbeitsgasdruck betr\u00e4gt 0,1 Pa, die Zielstromdichte kann zehn Milliampere erreichen, und die Abscheidungsrate erreicht mehrere hundert Nanometer bis 2000 nm pro Minute.<\/p><p>Die Magnetron-Sputter-Beschichtungstechnologie hat derzeit eine breite Palette von Anwendungen in der tats\u00e4chlichen Produktion, dank ihrer signifikanten Merkmale, n\u00e4mlich eine breite Palette von dynamischen Anpassung der Betriebsparameter, Film Abscheidung Rate und Dicke kann leicht gesteuert werden; kein Tr\u00f6pfchen Partikel Problem in der Filmschicht; eine breite Palette von Target-Materialien zur Auswahl, fast alle Metalle, Legierungen und Keramiken verwendet werden kann; und die Verwendung von Magnetron-Elektroden k\u00f6nnen effektiv verbessern die Sputter-Rate. Daher sind sowohl die Sputter-\u00c4tzrate auf der Target-Oberfl\u00e4che als auch die Schichtabscheidungsrate auf der Substratoberfl\u00e4che sehr hoch. Gleichzeitig hat das Magnetronsputtern den Vorteil, dass die Temperatur des Substrats bei niedriger Energie niedrig ist. Allerdings ist die traditionelle Magnetronsputtern Ziel mit einem ungleichm\u00e4\u00dfigen Magnetfeld, die lokale Konvergenz-Effekt des Plasmas wird zu ungleichm\u00e4\u00dfigen \u00c4tzen f\u00fchren. Dar\u00fcber hinaus kann das Zielmaterial nicht \u00fcber eine hohe magnetische Permeabilit\u00e4t, die die Nachteile der konventionellen Magnetron-Sputtering sind.<\/p><p><strong>2. die Zerst\u00e4ubung von Isoliermaterialien<\/strong><\/p><p>Von der Ger\u00e4testruktur her m\u00fcssen beim DC-Sputtern und bei der DC-Magnetron-Sputter-Beschichtung negative Potentiale an das Sputtertarget angelegt werden, was voraussetzt, dass das Targetmaterial ein guter Leiter ist, und f\u00fcr die Herstellung isolierender dielektrischer Schichten nicht geeignet ist. In diesem Zusammenhang kann die RF-Sputtertechnologie verwendet werden, um die DC-Stromversorgung der Sputteranlage durch eine RF-Stromversorgung zu ersetzen. Beim Sputterverfahren wird die Polarit\u00e4t der Stromversorgung zyklusabh\u00e4ngig umgeschaltet, und die positiven Ionen und Elektronen im HF-Plasma zwischen dem Targetpol und dem Substrat beschie\u00dfen abwechselnd das isolierende Target, um eine Sputterwirkung zu erzeugen.<\/p><p>Das RF-Sputtern vermeidet eine starke Streuung der Atome und verbessert die Sputterabscheidungsrate. Gleichzeitig haben die gesputterten Partikel einen geringeren Energieverlust w\u00e4hrend des Flugs und eine h\u00f6here Energie, wenn sie das Substrat erreichen, was zur Verbesserung der Haftfestigkeit und Verdichtung der Schicht beitr\u00e4gt. Gleichzeitig verringert das HF-Sputtern die Abh\u00e4ngigkeit der Entladung von Sekund\u00e4relektronen und senkt die Durchbruchsspannung, so dass jedes Material, einschlie\u00dflich dielektrischer Materialien, gesputtert werden kann. Da sich die Bauteilstruktur des HF-Sputterns jedoch nicht grundlegend von der des sekund\u00e4ren Sputterns unterscheidet, gibt es auch Nachteile wie eine niedrige Abscheidungsrate, eine hohe Substrattemperatur und eine schlechte Gleichm\u00e4\u00dfigkeit des Sputterns.<\/p><p><strong>3. zusammengesetzte D\u00fcnnschichtzerst\u00e4ubung<\/strong><\/p><p>Das Sputtern von Legierungen und Verbundwerkstoffen unterscheidet sich stark vom Sputtern einatomiger Festk\u00f6rper. Da die Elemente, aus denen Festk\u00f6rper bestehen, unterschiedliche Sputterausbeuten haben, kann die Herstellung von Verbundwerkstoffschichten zus\u00e4tzlich zum Hochfrequenzsputtern mit dem reaktiven Sputterverfahren durchgef\u00fchrt werden. Das hei\u00dft, bei der Sputterbeschichtung reagiert das zu einem sp\u00e4teren Zeitpunkt eingeleitete Reaktionsgas mit dem gesputterten Zielmaterial und lagert sich auf der Oberfl\u00e4che des Substrats ab, um eine d\u00fcnne Schicht mit einer anderen Zusammensetzung als die des Zielmaterials zu erhalten. Die Vorteile des reaktiven Sputterns bestehen darin, dass das Zielmaterial und das reaktive Gas leicht eine hohe Reinheit erreichen k\u00f6nnen, was die Herstellung hochreiner Verbundfilme beg\u00fcnstigt; die Zusammensetzung des Films kann k\u00fcnstlich eingestellt werden, um die Eigenschaften des Films zu regulieren; w\u00e4hrend des gesamten Prozesses der reaktiven Abscheidung hat das Substrat einen geringen Temperaturanstieg, was zur Herstellung gro\u00dffl\u00e4chiger homogener Filme und zur Realisierung einer industrialisierten Produktion genutzt werden kann. Allerdings, in der tats\u00e4chlichen Betrieb des Prozesses, die Vorbereitung der Verbindung Ziele ist schwierig, die DC-Reaktion Sputtern Prozess ist instabil, der Prozess ist schwer zu kontrollieren leicht durch Ziel Vergiftung, Ziel-Quelle und die Oberfl\u00e4che des Werkst\u00fccks Feuer Lichtbogenbildung und andere Ph\u00e4nomene, diese Probleme sind ernsthafte Einschr\u00e4nkungen f\u00fcr die Entwicklung und F\u00f6rderung der Reaktion Sputtern Technologie.<\/p><p>Die Ph\u00e4nomene der Targetvergiftung, der Bogenentladung und des Verschwindens der Anode beim reaktiven Sputtern k\u00f6nnen durch eine \u00c4nderung der Frequenz der Stromversorgung des Sputtertargets gel\u00f6st werden. Die gepulste Mittelfrequenz-Stromversorgung hat sich allm\u00e4hlich zu einer neuen Art der Stromversorgung f\u00fcr das Sputtern von Verbundwerkstoffen entwickelt, und die Frequenz dieser Stromversorgung liegt zwischen DC und RF. Beim Mittelfrequenz-AC-Magnetron-Reaktionszerst\u00e4ubungsprozess wechseln sich die beiden Zwillings-Targets als Kathode und Anode unter der Einwirkung eines unterbrochenen Wechselstroms (AC) periodisch ab, so dass sie in einem zyklischen Rundlauf zerst\u00e4ubt werden. Die mit der reaktiven Mittelfrequenz-Sputteranlage hergestellte Isolierschicht ist im Vergleich zum Gleichstrom-Sputtern im Wesentlichen frei von gro\u00dfen Partikeln, und die Schicht ist dichter. Au\u00dferdem tragen die hohe Abscheidungsrate, die stabilen Arbeitsbedingungen, die niedrigen Produktionskosten und die hohe Substrattemperatur w\u00e4hrend des Sputterprozesses zur Verbesserung der Schichtqualit\u00e4t und der Haftfestigkeit bei.<\/p>\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-4f8fdd3 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"4f8fdd3\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t<p>Wir bieten <a href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/kundenspezifische-dienstleistungen-2\/beschichtungstechnik-dunnschicht-laminierung-2\/physikalische-abscheidung-aus-der-gasphase-contract-processing-2\/\">Magnetron-Sputter-Gie\u00dfereidienstleistung nach Ma\u00df<\/a>k\u00f6nnen Sie gerne einen Kommentar hinterlassen.<\/p>\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-f7b91e2 uael-mobile-wpf-button-justify uael-wpf-style-box uael-wpf-input-size-sm uael-wpf-button-left uael-wpf-btn-size-sm uael-wpf-highlight-style-default elementor-widget elementor-widget-uael-wpf-styler\" data-id=\"f7b91e2\" data-element_type=\"widget\" data-settings=\"{&quot;btn_border_radius&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;top&quot;:&quot;0&quot;,&quot;right&quot;:&quot;0&quot;,&quot;bottom&quot;:&quot;0&quot;,&quot;left&quot;:&quot;0&quot;,&quot;isLinked&quot;:false},&quot;wpf_button_align_mobile&quot;:&quot;justify&quot;,&quot;wpf_input_padding&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;top&quot;:&quot;&quot;,&quot;right&quot;:&quot;&quot;,&quot;bottom&quot;:&quot;&quot;,&quot;left&quot;:&quot;&quot;,&quot;isLinked&quot;:true},&quot;wpf_input_padding_tablet&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;top&quot;:&quot;&quot;,&quot;right&quot;:&quot;&quot;,&quot;bottom&quot;:&quot;&quot;,&quot;left&quot;:&quot;&quot;,&quot;isLinked&quot;:true},&quot;wpf_input_padding_mobile&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;top&quot;:&quot;&quot;,&quot;right&quot;:&quot;&quot;,&quot;bottom&quot;:&quot;&quot;,&quot;left&quot;:&quot;&quot;,&quot;isLinked&quot;:true},&quot;wpf_input_radius&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;top&quot;:&quot;0&quot;,&quot;right&quot;:&quot;0&quot;,&quot;bottom&quot;:&quot;0&quot;,&quot;left&quot;:&quot;0&quot;,&quot;isLinked&quot;:true},&quot;wpf_input_radius_tablet&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;top&quot;:&quot;&quot;,&quot;right&quot;:&quot;&quot;,&quot;bottom&quot;:&quot;&quot;,&quot;left&quot;:&quot;&quot;,&quot;isLinked&quot;:true},&quot;wpf_input_radius_mobile&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;top&quot;:&quot;&quot;,&quot;right&quot;:&quot;&quot;,&quot;bottom&quot;:&quot;&quot;,&quot;left&quot;:&quot;&quot;,&quot;isLinked&quot;:true},&quot;wpf_button_align&quot;:&quot;left&quot;,&quot;wpf_button_padding&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;top&quot;:&quot;&quot;,&quot;right&quot;:&quot;&quot;,&quot;bottom&quot;:&quot;&quot;,&quot;left&quot;:&quot;&quot;,&quot;isLinked&quot;:true},&quot;wpf_button_padding_tablet&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;top&quot;:&quot;&quot;,&quot;right&quot;:&quot;&quot;,&quot;bottom&quot;:&quot;&quot;,&quot;left&quot;:&quot;&quot;,&quot;isLinked&quot;:true},&quot;wpf_button_padding_mobile&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;top&quot;:&quot;&quot;,&quot;right&quot;:&quot;&quot;,&quot;bottom&quot;:&quot;&quot;,&quot;left&quot;:&quot;&quot;,&quot;isLinked&quot;:true},&quot;btn_border_radius_tablet&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;top&quot;:&quot;&quot;,&quot;right&quot;:&quot;&quot;,&quot;bottom&quot;:&quot;&quot;,&quot;left&quot;:&quot;&quot;,&quot;isLinked&quot;:true},&quot;btn_border_radius_mobile&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;top&quot;:&quot;&quot;,&quot;right&quot;:&quot;&quot;,&quot;bottom&quot;:&quot;&quot;,&quot;left&quot;:&quot;&quot;,&quot;isLinked&quot;:true},&quot;form_fields_margin&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;size&quot;:&quot;&quot;,&quot;sizes&quot;:[]},&quot;form_fields_margin_tablet&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;size&quot;:&quot;&quot;,&quot;sizes&quot;:[]},&quot;form_fields_margin_mobile&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;size&quot;:&quot;&quot;,&quot;sizes&quot;:[]},&quot;form_label_margin_bottom&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;size&quot;:&quot;&quot;,&quot;sizes&quot;:[]},&quot;form_label_margin_bottom_tablet&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;size&quot;:&quot;&quot;,&quot;sizes&quot;:[]},&quot;form_label_margin_bottom_mobile&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;size&quot;:&quot;&quot;,&quot;sizes&quot;:[]},&quot;form_desc_margin_top&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;size&quot;:&quot;&quot;,&quot;sizes&quot;:[]},&quot;form_desc_margin_top_tablet&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;size&quot;:&quot;&quot;,&quot;sizes&quot;:[]},&quot;form_desc_margin_top_mobile&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;size&quot;:&quot;&quot;,&quot;sizes&quot;:[]},&quot;check_radio_items_spacing&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;size&quot;:&quot;&quot;,&quot;sizes&quot;:[]},&quot;check_radio_items_spacing_tablet&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;size&quot;:&quot;&quot;,&quot;sizes&quot;:[]},&quot;check_radio_items_spacing_mobile&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;size&quot;:&quot;&quot;,&quot;sizes&quot;:[]},&quot;submit_spacing&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;size&quot;:&quot;&quot;,&quot;sizes&quot;:[]},&quot;submit_spacing_tablet&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;size&quot;:&quot;&quot;,&quot;sizes&quot;:[]},&quot;submit_spacing_mobile&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;size&quot;:&quot;&quot;,&quot;sizes&quot;:[]}}\" data-widget_type=\"uael-wpf-styler.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t<div class = \"uael-wpf-container\">\r\n\t\t\t\t\t\t<div class = \"uael-wpf uael-wpf-style elementor-clickable\">\r\n\t\t\t\t\t\t<div class=\"wpforms-container wpforms-container-full\" id=\"wpforms-2729\"><form id=\"wpforms-form-2729\" class=\"wpforms-validate wpforms-form wpforms-ajax-form\" data-formid=\"2729\" method=\"post\" enctype=\"multipart\/form-data\" action=\"\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/7571\" data-token=\"bc88c845ea429835182066c967aeb694\" data-trp-original-action=\"\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/7571\"><noscript class=\"wpforms-error-noscript\">Bitte aktivieren Sie JavaScript in Ihrem Browser, um dieses Formular fertigzustellen.<\/noscript><div class=\"wpforms-field-container\"><div id=\"wpforms-2729-field_5-container\" class=\"wpforms-field wpforms-field-textarea\" data-field-id=\"5\"><label class=\"wpforms-field-label\" for=\"wpforms-2729-field_5\">Bedarf (Nachfrage) <span class=\"wpforms-required-label\">*<\/span><\/label><textarea id=\"wpforms-2729-field_5\" class=\"wpforms-field-medium wpforms-field-required\" name=\"wpforms[fields][5]\" placeholder=\"F\u00fcllen Sie Ihre Anforderungen aus...\" required><\/textarea><\/div><div id=\"wpforms-2729-field_10-container\" class=\"wpforms-field wpforms-field-layout\" data-field-id=\"10\"><label class=\"wpforms-field-label wpforms-label-hide\" for=\"wpforms-2729-field_10\">Layout<\/label><div class=\"wpforms-field-layout-columns wpforms-field-layout-preset-50-50\"><div class=\"wpforms-layout-column wpforms-layout-column-50\"><div id=\"wpforms-2729-field_9-container\" class=\"wpforms-field wpforms-field-email\" data-field-id=\"9\"><label class=\"wpforms-field-label\" for=\"wpforms-2729-field_9\">Mailbox (E-Mail) <span class=\"wpforms-required-label\">*<\/span><\/label><input type=\"email\" id=\"wpforms-2729-field_9\" class=\"wpforms-field-medium wpforms-field-required\" name=\"wpforms[fields][9]\" placeholder=\"F\u00fcllen Sie Ihre E-Mail aus...\" required><\/div><\/div><div class=\"wpforms-layout-column wpforms-layout-column-50\"><div id=\"wpforms-2729-field_1-container\" class=\"wpforms-field wpforms-field-text\" data-field-id=\"1\"><label class=\"wpforms-field-label\" for=\"wpforms-2729-field_1\">Name (Name)<\/label><input type=\"text\" id=\"wpforms-2729-field_1\" class=\"wpforms-field-medium\" name=\"wpforms[fields][1]\" placeholder=\"Geben Sie Ihren Namen ein...\" ><\/div><\/div><\/div><\/div><\/div><div class=\"wpforms-submit-container\"><input type=\"hidden\" name=\"wpforms[id]\" value=\"2729\"><input type=\"hidden\" name=\"wpforms[author]\" value=\"3\"><button type=\"submit\" name=\"wpforms[submit]\" id=\"wpforms-submit-2729\" class=\"wpforms-submit\" data-alt-text=\"\u53d1\u9001\u4e2d\u2026\" data-submit-text=\"\u8054\u7cfb\u6211\u4eec\" aria-live=\"assertive\" value=\"wpforms-submit\">Kontakt<\/button><img decoding=\"async\" src=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/plugins\/wpforms\/assets\/images\/submit-spin.svg\" class=\"wpforms-submit-spinner\" style=\"display: none;\" width=\"26\" height=\"26\" alt=\"Wird geladen\"><\/div><input type=\"hidden\" name=\"trp-form-language\" value=\"de\"\/><\/form><\/div>  <!-- .wpforms-container -->\t\t\t\t\t<\/div>\r\n\t\t\t\t<\/div>\r\n\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-column elementor-col-50 elementor-inner-column elementor-element elementor-element-f1e1049\" data-id=\"f1e1049\" data-element_type=\"column\">\n\t\t\t<div class=\"elementor-widget-wrap elementor-element-populated\">\n\t\t\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-ae22435 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"ae22435\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t<div class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">\u00c4hnliche Produkte<\/div>\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-ef8ce36 elementor-grid-1 elementor-grid-tablet-2 elementor-grid-mobile-1 elementor-posts--thumbnail-top elementor-widget elementor-widget-posts\" data-id=\"ef8ce36\" data-element_type=\"widget\" data-settings=\"{&quot;classic_columns&quot;:&quot;1&quot;,&quot;classic_row_gap&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;size&quot;:10,&quot;sizes&quot;:[]},&quot;classic_columns_tablet&quot;:&quot;2&quot;,&quot;classic_columns_mobile&quot;:&quot;1&quot;,&quot;classic_row_gap_tablet&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;size&quot;:&quot;&quot;,&quot;sizes&quot;:[]},&quot;classic_row_gap_mobile&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;size&quot;:&quot;&quot;,&quot;sizes&quot;:[]}}\" data-widget_type=\"posts.classic\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t<link rel=\"stylesheet\" href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/plugins\/elementor-pro\/assets\/css\/widget-posts.min.css\">\t\t<div class=\"elementor-posts-container elementor-posts elementor-posts--skin-classic elementor-grid\">\n\t\t\t\t<article class=\"elementor-post elementor-grid-item post-7386 page type-page status-publish has-post-thumbnail hentry category-process tag-process\">\n\t\t\t\t<a class=\"elementor-post__thumbnail__link\" href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/kundenspezifische-dienstleistungen-2\/beschichtungstechnik-dunnschicht-laminierung-2\/atomlagenabscheidung-auftragsbearbeitung-2\/\" tabindex=\"-1\" >\n\t\t\t<div class=\"elementor-post__thumbnail\"><img decoding=\"async\" width=\"300\" height=\"195\" src=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/03\/2890e32db03fae1fa2ab67a6ed9c0d8-300x195.png\" class=\"attachment-medium size-medium wp-image-7388\" alt=\"\" srcset=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/03\/2890e32db03fae1fa2ab67a6ed9c0d8-300x195.png 300w, https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/03\/2890e32db03fae1fa2ab67a6ed9c0d8-18x12.png 18w, https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/03\/2890e32db03fae1fa2ab67a6ed9c0d8.png 640w\" sizes=\"(max-width: 300px) 100vw, 300px\" \/><\/div>\n\t\t<\/a>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-post__text\">\n\t\t\t\t<h4 class=\"elementor-post__title\">\n\t\t\t<a href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/kundenspezifische-dienstleistungen-2\/beschichtungstechnik-dunnschicht-laminierung-2\/atomlagenabscheidung-auftragsbearbeitung-2\/\" >\n\t\t\t\tSubstitutionsverfahren durch Atomlagenabscheidung (ALD)\t\t\t<\/a>\n\t\t<\/h4>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-post__excerpt\">\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\n\t\t<a class=\"elementor-post__read-more\" href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/kundenspezifische-dienstleistungen-2\/beschichtungstechnik-dunnschicht-laminierung-2\/atomlagenabscheidung-auftragsbearbeitung-2\/\" aria-label=\"Lesen Sie mehr \u00fcber Atomic Layer Deposition (ALD) Foundry Processing\" tabindex=\"-1\" >\n\t\t\tMehr lesen \"\t\t<\/a>\n\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/article>\n\t\t\t\t<article class=\"elementor-post elementor-grid-item post-7344 page type-page status-publish has-post-thumbnail hentry category-process tag-process\">\n\t\t\t\t<a class=\"elementor-post__thumbnail__link\" href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/kundenspezifische-dienstleistungen-2\/beschichtungstechnik-dunnschicht-laminierung-2\/chemische-abscheidung-aus-der-gasphase-cvd-auftragsbearbeitung\/\" tabindex=\"-1\" >\n\t\t\t<div class=\"elementor-post__thumbnail\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" width=\"300\" height=\"200\" src=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/03\/f394ed96-eaca-40cc-83f6-ebadaea95553-300x200.png\" class=\"attachment-medium size-medium wp-image-7347\" alt=\"\" srcset=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/03\/f394ed96-eaca-40cc-83f6-ebadaea95553-300x200.png 300w, https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/03\/f394ed96-eaca-40cc-83f6-ebadaea95553-1024x684.png 1024w, https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/03\/f394ed96-eaca-40cc-83f6-ebadaea95553-768x513.png 768w, https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/03\/f394ed96-eaca-40cc-83f6-ebadaea95553-1536x1025.png 1536w, https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/03\/f394ed96-eaca-40cc-83f6-ebadaea95553-18x12.png 18w, https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/03\/elementor\/thumbs\/f394ed96-eaca-40cc-83f6-ebadaea95553-qlt2nzpy27w47wpv9hvjdczv85dnqtqc8q83uvppb4.png 360w, https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/03\/f394ed96-eaca-40cc-83f6-ebadaea95553.png 1600w\" sizes=\"(max-width: 300px) 100vw, 300px\" \/><\/div>\n\t\t<\/a>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-post__text\">\n\t\t\t\t<h4 class=\"elementor-post__title\">\n\t\t\t<a href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/kundenspezifische-dienstleistungen-2\/beschichtungstechnik-dunnschicht-laminierung-2\/chemische-abscheidung-aus-der-gasphase-cvd-auftragsbearbeitung\/\" >\n\t\t\t\tChemical Vapour Deposition (CVD) Generation Processing\t\t\t<\/a>\n\t\t<\/h4>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-post__excerpt\">\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\n\t\t<a class=\"elementor-post__read-more\" href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/kundenspezifische-dienstleistungen-2\/beschichtungstechnik-dunnschicht-laminierung-2\/chemische-abscheidung-aus-der-gasphase-cvd-auftragsbearbeitung\/\" aria-label=\"Lesen Sie mehr \u00fcber Chemical Vapour Deposition (CVD) Subcontracting\" tabindex=\"-1\" >\n\t\t\tMehr lesen \"\t\t<\/a>\n\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/article>\n\t\t\t\t<article class=\"elementor-post elementor-grid-item post-7355 page type-page status-publish has-post-thumbnail hentry category-process tag-process\">\n\t\t\t\t<a class=\"elementor-post__thumbnail__link\" href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/kundenspezifische-dienstleistungen-2\/beschichtungstechnik-dunnschicht-laminierung-2\/physikalische-abscheidung-aus-der-gasphase-contract-processing-2\/\" tabindex=\"-1\" >\n\t\t\t<div class=\"elementor-post__thumbnail\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" width=\"300\" height=\"200\" src=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/03\/59c77cbc-ce7b-4fe7-99ce-ee924312b932-300x200.png\" class=\"attachment-medium size-medium wp-image-7357\" alt=\"\" srcset=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/03\/59c77cbc-ce7b-4fe7-99ce-ee924312b932-300x200.png 300w, https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/03\/59c77cbc-ce7b-4fe7-99ce-ee924312b932-1024x683.png 1024w, https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/03\/59c77cbc-ce7b-4fe7-99ce-ee924312b932-768x512.png 768w, https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/03\/59c77cbc-ce7b-4fe7-99ce-ee924312b932-18x12.png 18w, https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/03\/elementor\/thumbs\/59c77cbc-ce7b-4fe7-99ce-ee924312b932-qlti2lfsi53oh54jrq611wpt5lt6dogutrcqlbec0w.png 360w, https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/03\/59c77cbc-ce7b-4fe7-99ce-ee924312b932.png 1508w\" sizes=\"(max-width: 300px) 100vw, 300px\" \/><\/div>\n\t\t<\/a>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-post__text\">\n\t\t\t\t<h4 class=\"elementor-post__title\">\n\t\t\t<a href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/kundenspezifische-dienstleistungen-2\/beschichtungstechnik-dunnschicht-laminierung-2\/physikalische-abscheidung-aus-der-gasphase-contract-processing-2\/\" >\n\t\t\t\tPhysikalische Abscheidung aus der Gasphase (PVD) - Generative Verarbeitung\t\t\t<\/a>\n\t\t<\/h4>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-post__excerpt\">\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\n\t\t<a class=\"elementor-post__read-more\" href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/kundenspezifische-dienstleistungen-2\/beschichtungstechnik-dunnschicht-laminierung-2\/physikalische-abscheidung-aus-der-gasphase-contract-processing-2\/\" aria-label=\"Lesen Sie mehr \u00fcber Physical Vapour Deposition (PVD) Subcontracting\" tabindex=\"-1\" >\n\t\t\tMehr lesen \"\t\t<\/a>\n\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/article>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-48bafa1 elementor-widget-divider--view-line elementor-widget elementor-widget-divider\" data-id=\"48bafa1\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"divider.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t<style>\/*! elementor - v3.20.0 - 20-03-2024 *\/\n.elementor-widget-divider{--divider-border-style:none;--divider-border-width:1px;--divider-color:#0c0d0e;--divider-icon-size:20px;--divider-element-spacing:10px;--divider-pattern-height:24px;--divider-pattern-size:20px;--divider-pattern-url:none;--divider-pattern-repeat:repeat-x}.elementor-widget-divider .elementor-divider{display:flex}.elementor-widget-divider .elementor-divider__text{font-size:15px;line-height:1;max-width:95%}.elementor-widget-divider .elementor-divider__element{margin:0 var(--divider-element-spacing);flex-shrink:0}.elementor-widget-divider .elementor-icon{font-size:var(--divider-icon-size)}.elementor-widget-divider .elementor-divider-separator{display:flex;margin:0;direction:ltr}.elementor-widget-divider--view-line_icon .elementor-divider-separator,.elementor-widget-divider--view-line_text .elementor-divider-separator{align-items:center}.elementor-widget-divider--view-line_icon .elementor-divider-separator:after,.elementor-widget-divider--view-line_icon .elementor-divider-separator:before,.elementor-widget-divider--view-line_text .elementor-divider-separator:after,.elementor-widget-divider--view-line_text .elementor-divider-separator:before{display:block;content:\"\";border-block-end:0;flex-grow:1;border-block-start:var(--divider-border-width) var(--divider-border-style) var(--divider-color)}.elementor-widget-divider--element-align-left .elementor-divider .elementor-divider-separator>.elementor-divider__svg:first-of-type{flex-grow:0;flex-shrink:100}.elementor-widget-divider--element-align-left .elementor-divider-separator:before{content:none}.elementor-widget-divider--element-align-left .elementor-divider__element{margin-left:0}.elementor-widget-divider--element-align-right .elementor-divider .elementor-divider-separator>.elementor-divider__svg:last-of-type{flex-grow:0;flex-shrink:100}.elementor-widget-divider--element-align-right .elementor-divider-separator:after{content:none}.elementor-widget-divider--element-align-right .elementor-divider__element{margin-right:0}.elementor-widget-divider--element-align-start .elementor-divider .elementor-divider-separator>.elementor-divider__svg:first-of-type{flex-grow:0;flex-shrink:100}.elementor-widget-divider--element-align-start .elementor-divider-separator:before{content:none}.elementor-widget-divider--element-align-start .elementor-divider__element{margin-inline-start:0}.elementor-widget-divider--element-align-end .elementor-divider .elementor-divider-separator>.elementor-divider__svg:last-of-type{flex-grow:0;flex-shrink:100}.elementor-widget-divider--element-align-end .elementor-divider-separator:after{content:none}.elementor-widget-divider--element-align-end .elementor-divider__element{margin-inline-end:0}.elementor-widget-divider:not(.elementor-widget-divider--view-line_text):not(.elementor-widget-divider--view-line_icon) .elementor-divider-separator{border-block-start:var(--divider-border-width) var(--divider-border-style) var(--divider-color)}.elementor-widget-divider--separator-type-pattern{--divider-border-style:none}.elementor-widget-divider--separator-type-pattern.elementor-widget-divider--view-line .elementor-divider-separator,.elementor-widget-divider--separator-type-pattern:not(.elementor-widget-divider--view-line) .elementor-divider-separator:after,.elementor-widget-divider--separator-type-pattern:not(.elementor-widget-divider--view-line) .elementor-divider-separator:before,.elementor-widget-divider--separator-type-pattern:not([class*=elementor-widget-divider--view]) .elementor-divider-separator{width:100%;min-height:var(--divider-pattern-height);-webkit-mask-size:var(--divider-pattern-size) 100%;mask-size:var(--divider-pattern-size) 100%;-webkit-mask-repeat:var(--divider-pattern-repeat);mask-repeat:var(--divider-pattern-repeat);background-color:var(--divider-color);-webkit-mask-image:var(--divider-pattern-url);mask-image:var(--divider-pattern-url)}.elementor-widget-divider--no-spacing{--divider-pattern-size:auto}.elementor-widget-divider--bg-round{--divider-pattern-repeat:round}.rtl .elementor-widget-divider .elementor-divider__text{direction:rtl}.e-con-inner>.elementor-widget-divider,.e-con>.elementor-widget-divider{width:var(--container-widget-width,100%);--flex-grow:var(--container-widget-flex-grow)}<\/style>\t\t<div class=\"elementor-divider\">\n\t\t\t<span class=\"elementor-divider-separator\">\n\t\t\t\t\t\t<\/span>\n\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-dfc2daf elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"dfc2daf\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t<div class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">Verwandte Lekt\u00fcre<\/div>\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-eea4c0f elementor-grid-1 elementor-posts--thumbnail-none elementor-grid-tablet-2 elementor-grid-mobile-1 elementor-widget elementor-widget-posts\" data-id=\"eea4c0f\" data-element_type=\"widget\" data-settings=\"{&quot;classic_columns&quot;:&quot;1&quot;,&quot;classic_columns_tablet&quot;:&quot;2&quot;,&quot;classic_columns_mobile&quot;:&quot;1&quot;,&quot;classic_row_gap&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;size&quot;:35,&quot;sizes&quot;:[]},&quot;classic_row_gap_tablet&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;size&quot;:&quot;&quot;,&quot;sizes&quot;:[]},&quot;classic_row_gap_mobile&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;size&quot;:&quot;&quot;,&quot;sizes&quot;:[]}}\" data-widget_type=\"posts.classic\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<div class=\"elementor-posts-container elementor-posts elementor-posts--skin-classic elementor-grid\">\n\t\t\t\t<article class=\"elementor-post elementor-grid-item post-7064 post type-post status-publish format-standard has-post-thumbnail hentry category-application tag-tem-grids\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-post__text\">\n\t\t\t\t<h4 class=\"elementor-post__title\">\n\t\t\t<a href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/einblick-2\/application\/tem-grids-2\/\" >\n\t\t\t\tVertiefte Kenntnisse: Einf\u00fchrung, Arten und Anwendungen von Elektronenmikroskop-Tr\u00e4gergittern (Kupfergittern)\t\t\t<\/a>\n\t\t<\/h4>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-post__excerpt\">\n\t\t\t<p>Vertiefende Wissenschaft: Einf\u00fchrung, Arten und Anwendungen von Elektronenmikroskop-Tr\u00e4gergittern (Kupfergitter) Elektronische Anzeige<\/p>\n\t\t<\/div>\n\t\t\n\t\t<a class=\"elementor-post__read-more\" href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/einblick-2\/application\/tem-grids-2\/\" aria-label=\"Lesen Sie mehr \u00fcber: Einf\u00fchrung, Arten und Anwendungen von Kupfernetzen f\u00fcr die Elektronenmikroskopie\" tabindex=\"-1\" >\n\t\t\tMehr lesen \"\t\t<\/a>\n\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/article>\n\t\t\t\t<article class=\"elementor-post elementor-grid-item post-5420 post type-post status-publish format-standard has-post-thumbnail hentry category-application tag-app-silicon-nitride-window\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-post__text\">\n\t\t\t\t<h4 class=\"elementor-post__title\">\n\t\t\t<a href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/einblick-2\/application\/silikon-nitrid-biowissenschaftliche-anwendungen-2\/\" >\n\t\t\t\tErforschung von 4 Anwendungen von Siliziumnitrid-D\u00fcnnschichtfenstern in den Biowissenschaften\t\t\t<\/a>\n\t\t<\/h4>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-post__excerpt\">\n\t\t\t<p>In diesem Artikel werden die Eigenschaften und Vorteile von Siliziumnitrid-D\u00fcnnschichtfenstern beschrieben und vier g\u00e4ngige Anwendungen in den Biowissenschaften er\u00f6rtert.<\/p>\n\t\t<\/div>\n\t\t\n\t\t<a class=\"elementor-post__read-more\" href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/einblick-2\/application\/silikon-nitrid-biowissenschaftliche-anwendungen-2\/\" aria-label=\"Lesen Sie mehr \u00fcber die 4 Anwendungen von Siliziumnitrid-D\u00fcnnschichtfenstern in der Biowissenschaft\" tabindex=\"-1\" >\n\t\t\tMehr lesen \"\t\t<\/a>\n\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/article>\n\t\t\t\t<article class=\"elementor-post elementor-grid-item post-5545 post type-post status-publish format-standard has-post-thumbnail hentry category-application tag-app-silicon-nitride-window\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-post__text\">\n\t\t\t\t<h4 class=\"elementor-post__title\">\n\t\t\t<a href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/einblick-2\/application\/halbleiter-produktion-und-analyse-2\/\" >\n\t\t\t\tDie Schl\u00fcsselrolle von Siliziumnitrid-D\u00fcnnschichtfenstern in der Halbleiterproduktion und -analyse\t\t\t<\/a>\n\t\t<\/h4>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-post__excerpt\">\n\t\t\t<p>Siliziumnitrid-D\u00fcnnschichtfenster sind aufgrund ihrer einzigartigen Eigenschaften ein wichtiger Bestandteil der Halbleiterindustrie geworden. Siliziumnitrid-D\u00fcnnschichtfenster haben ein breites Anwendungsspektrum, von der Produktion bis zur Analyse, und spielen eine Schl\u00fcsselrolle bei der Entwicklung neuer Halbleiterger\u00e4te und -materialien.<\/p>\n\t\t<\/div>\n\t\t\n\t\t<a class=\"elementor-post__read-more\" href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/einblick-2\/application\/halbleiter-produktion-und-analyse-2\/\" aria-label=\"Lesen Sie mehr \u00fcber Siliziumnitrid-D\u00fcnnschichtfenster - Kritische Rolle in der Halbleiterproduktion und Analyse\" tabindex=\"-1\" >\n\t\t\tMehr lesen \"\t\t<\/a>\n\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/article>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-ecd583b elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"ecd583b\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t<p class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\"><a href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/einblicke-2\/\">Mehr dazu...<\/a><\/p>\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/section>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/section>\n\t\t\t\t<\/div>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>Welche Faktoren beeinflussen den Sputterbeschichtungsprozess von D\u00fcnnschichtmaterialien? Durch den Beschuss einer festen Oberfl\u00e4che mit energiereichen Teilchen (in der Regel positive Ionen, die durch ein elektrisches Feld beschleunigt werden) werden die Atome auf der festen Oberfl\u00e4che [...]<\/p>","protected":false},"author":3,"featured_media":7572,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"default","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","theme-transparent-header-meta":"","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"set","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-4)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-gradient":""}},"ast-content-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-gradient":""}},"footnotes":""},"categories":[215],"tags":[],"class_list":["post-7571","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-application"],"yoast_head":"<!-- This site is optimized with the Yoast SEO Premium plugin v20.0 (Yoast SEO v22.4) - https:\/\/yoast.com\/wordpress\/plugins\/seo\/ -->\n<title>\u6e85\u5c04\u9540\u819c\u5de5\u827a\u5bf9\u8584\u819c\u6750\u6599\u7684\u5f71\u54cd\u56e0\u7d20\u6709\u54ea\u4e9b\u5462\uff1f - \u6e2f\u6e7e\u534a\u5bfc\u4f53<\/title>\n<meta name=\"description\" content=\"\u6e85\u5c04\u9540\u819c\u662f\u4e00\u79cd\u7269\u7406\u6c14\u76f8\u6c89\u79ef\u6280\u672f\uff08PVD\uff09\uff0c\u901a\u8fc7\u5229\u7528\u9ad8\u80fd\u7c92\u5b50\u675f\u5c06\u56fa\u4f53\u9776\u6750\u6599\u51fb\u6253\u5e76\u6e85\u5c04\u5230\u57fa\u5e95\u8868\u9762\u5f62\u6210\u8584\u819c\u7684\u8fc7\u7a0b\u3002\u6e85\u5c04\u9540\u819c\u6d89\u53ca\u76f4\u6d41\u3001\u5c04\u9891\u6216\u8109\u51b2\u76f4\u6d41\u7535\u6e90\u4f9b\u80fd\uff0c\u4ee5\u53ca\u78c1\u573a\u8f85\u52a9\u7b49\u591a\u79cd\u65b9\u5f0f\uff0c\u53ef\u5b9e\u73b0\u5bf9\u8584\u819c\u539a\u5ea6\u3001\u6210\u5206\u548c\u7ed3\u6784\u7684\u7cbe\u786e\u63a7\u5236\u3002\" \/>\n<meta name=\"robots\" content=\"index, follow, max-snippet:-1, max-image-preview:large, max-video-preview:-1\" \/>\n<link rel=\"canonical\" href=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/einblick-2\/application\/\u6e85\u5c04\u9540\u819c-2\/\" \/>\n<meta property=\"og:locale\" content=\"de_DE\" \/>\n<meta property=\"og:type\" content=\"article\" \/>\n<meta property=\"og:title\" content=\"\u6e85\u5c04\u9540\u819c\u5de5\u827a\u5bf9\u8584\u819c\u6750\u6599\u7684\u5f71\u54cd\u56e0\u7d20\u6709\u54ea\u4e9b\u5462\uff1f\" \/>\n<meta property=\"og:description\" content=\"\u6e85\u5c04\u9540\u819c\u662f\u4e00\u79cd\u7269\u7406\u6c14\u76f8\u6c89\u79ef\u6280\u672f\uff08PVD\uff09\uff0c\u901a\u8fc7\u5229\u7528\u9ad8\u80fd\u7c92\u5b50\u675f\u5c06\u56fa\u4f53\u9776\u6750\u6599\u51fb\u6253\u5e76\u6e85\u5c04\u5230\u57fa\u5e95\u8868\u9762\u5f62\u6210\u8584\u819c\u7684\u8fc7\u7a0b\u3002\u6e85\u5c04\u9540\u819c\u6d89\u53ca\u76f4\u6d41\u3001\u5c04\u9891\u6216\u8109\u51b2\u76f4\u6d41\u7535\u6e90\u4f9b\u80fd\uff0c\u4ee5\u53ca\u78c1\u573a\u8f85\u52a9\u7b49\u591a\u79cd\u65b9\u5f0f\uff0c\u53ef\u5b9e\u73b0\u5bf9\u8584\u819c\u539a\u5ea6\u3001\u6210\u5206\u548c\u7ed3\u6784\u7684\u7cbe\u786e\u63a7\u5236\u3002\" \/>\n<meta property=\"og:url\" content=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/einblick-2\/application\/\u6e85\u5c04\u9540\u819c-2\/\" \/>\n<meta property=\"og:site_name\" content=\"\u6e2f\u6e7e\u534a\u5bfc\u4f53\" \/>\n<meta property=\"article:published_time\" content=\"2024-04-08T02:51:43+00:00\" \/>\n<meta property=\"article:modified_time\" content=\"2024-05-28T02:14:16+00:00\" \/>\n<meta property=\"og:image\" content=\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/04\/d4bd772da2d2f10b5d0b7af283bfaf3-1024x768.png\" \/>\n\t<meta property=\"og:image:width\" content=\"1024\" \/>\n\t<meta property=\"og:image:height\" content=\"768\" \/>\n\t<meta property=\"og:image:type\" content=\"image\/png\" \/>\n<meta name=\"author\" content=\"jeff5829\" \/>\n<meta name=\"twitter:card\" content=\"summary_large_image\" \/>\n<meta name=\"twitter:label1\" content=\"Verfasst von\" \/>\n\t<meta name=\"twitter:data1\" content=\"jeff5829\" \/>\n\t<meta name=\"twitter:label2\" content=\"Gesch\u00e4tzte Lesezeit\" \/>\n\t<meta name=\"twitter:data2\" content=\"2\u00a0Minuten\" \/>\n<script type=\"application\/ld+json\" class=\"yoast-schema-graph\">{\"@context\":\"https:\/\/schema.org\",\"@graph\":[{\"@type\":\"Article\",\"@id\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/effect-of-sputtering-coating-on-thin-films\/#article\",\"isPartOf\":{\"@id\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/effect-of-sputtering-coating-on-thin-films\/\"},\"author\":{\"name\":\"jeff5829\",\"@id\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/#\/schema\/person\/43ad5264cbf98ccd5ec1fbd4f6c3b0e5\"},\"headline\":\"\u6e85\u5c04\u9540\u819c\u5de5\u827a\u5bf9\u8584\u819c\u6750\u6599\u7684\u5f71\u54cd\u56e0\u7d20\u6709\u54ea\u4e9b\u5462\uff1f\",\"datePublished\":\"2024-04-08T02:51:43+00:00\",\"dateModified\":\"2024-05-28T02:14:16+00:00\",\"mainEntityOfPage\":{\"@id\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/effect-of-sputtering-coating-on-thin-films\/\"},\"wordCount\":9,\"commentCount\":0,\"publisher\":{\"@id\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/#organization\"},\"image\":{\"@id\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/effect-of-sputtering-coating-on-thin-films\/#primaryimage\"},\"thumbnailUrl\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/04\/d4bd772da2d2f10b5d0b7af283bfaf3.png\",\"articleSection\":[\"\u5e94\u7528\"],\"inLanguage\":\"de\",\"potentialAction\":[{\"@type\":\"CommentAction\",\"name\":\"Comment\",\"target\":[\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/effect-of-sputtering-coating-on-thin-films\/#respond\"]}]},{\"@type\":\"WebPage\",\"@id\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/effect-of-sputtering-coating-on-thin-films\/\",\"url\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/effect-of-sputtering-coating-on-thin-films\/\",\"name\":\"\u6e85\u5c04\u9540\u819c\u5de5\u827a\u5bf9\u8584\u819c\u6750\u6599\u7684\u5f71\u54cd\u56e0\u7d20\u6709\u54ea\u4e9b\u5462\uff1f - \u6e2f\u6e7e\u534a\u5bfc\u4f53\",\"isPartOf\":{\"@id\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/#website\"},\"primaryImageOfPage\":{\"@id\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/effect-of-sputtering-coating-on-thin-films\/#primaryimage\"},\"image\":{\"@id\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/effect-of-sputtering-coating-on-thin-films\/#primaryimage\"},\"thumbnailUrl\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/04\/d4bd772da2d2f10b5d0b7af283bfaf3.png\",\"datePublished\":\"2024-04-08T02:51:43+00:00\",\"dateModified\":\"2024-05-28T02:14:16+00:00\",\"description\":\"\u6e85\u5c04\u9540\u819c\u662f\u4e00\u79cd\u7269\u7406\u6c14\u76f8\u6c89\u79ef\u6280\u672f\uff08PVD\uff09\uff0c\u901a\u8fc7\u5229\u7528\u9ad8\u80fd\u7c92\u5b50\u675f\u5c06\u56fa\u4f53\u9776\u6750\u6599\u51fb\u6253\u5e76\u6e85\u5c04\u5230\u57fa\u5e95\u8868\u9762\u5f62\u6210\u8584\u819c\u7684\u8fc7\u7a0b\u3002\u6e85\u5c04\u9540\u819c\u6d89\u53ca\u76f4\u6d41\u3001\u5c04\u9891\u6216\u8109\u51b2\u76f4\u6d41\u7535\u6e90\u4f9b\u80fd\uff0c\u4ee5\u53ca\u78c1\u573a\u8f85\u52a9\u7b49\u591a\u79cd\u65b9\u5f0f\uff0c\u53ef\u5b9e\u73b0\u5bf9\u8584\u819c\u539a\u5ea6\u3001\u6210\u5206\u548c\u7ed3\u6784\u7684\u7cbe\u786e\u63a7\u5236\u3002\",\"breadcrumb\":{\"@id\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/effect-of-sputtering-coating-on-thin-films\/#breadcrumb\"},\"inLanguage\":\"de\",\"potentialAction\":[{\"@type\":\"ReadAction\",\"target\":[\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/effect-of-sputtering-coating-on-thin-films\/\"]}]},{\"@type\":\"ImageObject\",\"inLanguage\":\"de\",\"@id\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/effect-of-sputtering-coating-on-thin-films\/#primaryimage\",\"url\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/04\/d4bd772da2d2f10b5d0b7af283bfaf3.png\",\"contentUrl\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/04\/d4bd772da2d2f10b5d0b7af283bfaf3.png\",\"width\":1920,\"height\":1440},{\"@type\":\"BreadcrumbList\",\"@id\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/effect-of-sputtering-coating-on-thin-films\/#breadcrumb\",\"itemListElement\":[{\"@type\":\"ListItem\",\"position\":1,\"name\":\"\u9996\u9875\",\"item\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/\"},{\"@type\":\"ListItem\",\"position\":2,\"name\":\"\u6e85\u5c04\u9540\u819c\u5de5\u827a\u5bf9\u8584\u819c\u6750\u6599\u7684\u5f71\u54cd\u56e0\u7d20\u6709\u54ea\u4e9b\u5462\uff1f\"}]},{\"@type\":\"WebSite\",\"@id\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/#website\",\"url\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/\",\"name\":\"Harbour\u6e2f\u6e7e\u534a\u5bfc\u4f53\",\"description\":\"Greater China\",\"publisher\":{\"@id\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/#organization\"},\"potentialAction\":[{\"@type\":\"SearchAction\",\"target\":{\"@type\":\"EntryPoint\",\"urlTemplate\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/?s={search_term_string}\"},\"query-input\":\"required name=search_term_string\"}],\"inLanguage\":\"de\"},{\"@type\":\"Organization\",\"@id\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/#organization\",\"name\":\"\u6e2f\u6e7e\u534a\u5bfc\u4f53\",\"url\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/\",\"logo\":{\"@type\":\"ImageObject\",\"inLanguage\":\"de\",\"@id\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/#\/schema\/logo\/image\/\",\"url\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2023\/03\/cropped-cropped-cropped-\u6e2f\u6e7e\u534a\u5bfc\u4f53-logo.png\",\"contentUrl\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2023\/03\/cropped-cropped-cropped-\u6e2f\u6e7e\u534a\u5bfc\u4f53-logo.png\",\"width\":380,\"height\":60,\"caption\":\"\u6e2f\u6e7e\u534a\u5bfc\u4f53\"},\"image\":{\"@id\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/#\/schema\/logo\/image\/\"}},{\"@type\":\"Person\",\"@id\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/#\/schema\/person\/43ad5264cbf98ccd5ec1fbd4f6c3b0e5\",\"name\":\"jeff5829\",\"image\":{\"@type\":\"ImageObject\",\"inLanguage\":\"de\",\"@id\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/#\/schema\/person\/image\/\",\"url\":\"https:\/\/secure.gravatar.com\/avatar\/07276a17cfc0fa45dca16dd680ca6060143a60e8f4bd15c2584de1fdcec39601?s=96&d=mm&r=g\",\"contentUrl\":\"https:\/\/secure.gravatar.com\/avatar\/07276a17cfc0fa45dca16dd680ca6060143a60e8f4bd15c2584de1fdcec39601?s=96&d=mm&r=g\",\"caption\":\"jeff5829\"},\"url\":\"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/author\/jeff5829\/\"}]}<\/script>\n<!-- \/ Yoast SEO Premium plugin. -->","yoast_head_json":{"title":"\u6e85\u5c04\u9540\u819c\u5de5\u827a\u5bf9\u8584\u819c\u6750\u6599\u7684\u5f71\u54cd\u56e0\u7d20\u6709\u54ea\u4e9b\u5462\uff1f - \u6e2f\u6e7e\u534a\u5bfc\u4f53","description":"\u6e85\u5c04\u9540\u819c\u662f\u4e00\u79cd\u7269\u7406\u6c14\u76f8\u6c89\u79ef\u6280\u672f\uff08PVD\uff09\uff0c\u901a\u8fc7\u5229\u7528\u9ad8\u80fd\u7c92\u5b50\u675f\u5c06\u56fa\u4f53\u9776\u6750\u6599\u51fb\u6253\u5e76\u6e85\u5c04\u5230\u57fa\u5e95\u8868\u9762\u5f62\u6210\u8584\u819c\u7684\u8fc7\u7a0b\u3002\u6e85\u5c04\u9540\u819c\u6d89\u53ca\u76f4\u6d41\u3001\u5c04\u9891\u6216\u8109\u51b2\u76f4\u6d41\u7535\u6e90\u4f9b\u80fd\uff0c\u4ee5\u53ca\u78c1\u573a\u8f85\u52a9\u7b49\u591a\u79cd\u65b9\u5f0f\uff0c\u53ef\u5b9e\u73b0\u5bf9\u8584\u819c\u539a\u5ea6\u3001\u6210\u5206\u548c\u7ed3\u6784\u7684\u7cbe\u786e\u63a7\u5236\u3002","robots":{"index":"index","follow":"follow","max-snippet":"max-snippet:-1","max-image-preview":"max-image-preview:large","max-video-preview":"max-video-preview:-1"},"canonical":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/einblick-2\/application\/\u6e85\u5c04\u9540\u819c-2\/","og_locale":"de_DE","og_type":"article","og_title":"\u6e85\u5c04\u9540\u819c\u5de5\u827a\u5bf9\u8584\u819c\u6750\u6599\u7684\u5f71\u54cd\u56e0\u7d20\u6709\u54ea\u4e9b\u5462\uff1f","og_description":"\u6e85\u5c04\u9540\u819c\u662f\u4e00\u79cd\u7269\u7406\u6c14\u76f8\u6c89\u79ef\u6280\u672f\uff08PVD\uff09\uff0c\u901a\u8fc7\u5229\u7528\u9ad8\u80fd\u7c92\u5b50\u675f\u5c06\u56fa\u4f53\u9776\u6750\u6599\u51fb\u6253\u5e76\u6e85\u5c04\u5230\u57fa\u5e95\u8868\u9762\u5f62\u6210\u8584\u819c\u7684\u8fc7\u7a0b\u3002\u6e85\u5c04\u9540\u819c\u6d89\u53ca\u76f4\u6d41\u3001\u5c04\u9891\u6216\u8109\u51b2\u76f4\u6d41\u7535\u6e90\u4f9b\u80fd\uff0c\u4ee5\u53ca\u78c1\u573a\u8f85\u52a9\u7b49\u591a\u79cd\u65b9\u5f0f\uff0c\u53ef\u5b9e\u73b0\u5bf9\u8584\u819c\u539a\u5ea6\u3001\u6210\u5206\u548c\u7ed3\u6784\u7684\u7cbe\u786e\u63a7\u5236\u3002","og_url":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/einblick-2\/application\/\u6e85\u5c04\u9540\u819c-2\/","og_site_name":"\u6e2f\u6e7e\u534a\u5bfc\u4f53","article_published_time":"2024-04-08T02:51:43+00:00","article_modified_time":"2024-05-28T02:14:16+00:00","og_image":[{"width":1024,"height":768,"url":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/04\/d4bd772da2d2f10b5d0b7af283bfaf3-1024x768.png","type":"image\/png"}],"author":"jeff5829","twitter_card":"summary_large_image","twitter_misc":{"Verfasst von":"jeff5829","Gesch\u00e4tzte Lesezeit":"2\u00a0Minuten"},"schema":{"@context":"https:\/\/schema.org","@graph":[{"@type":"Article","@id":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/effect-of-sputtering-coating-on-thin-films\/#article","isPartOf":{"@id":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/effect-of-sputtering-coating-on-thin-films\/"},"author":{"name":"jeff5829","@id":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/#\/schema\/person\/43ad5264cbf98ccd5ec1fbd4f6c3b0e5"},"headline":"\u6e85\u5c04\u9540\u819c\u5de5\u827a\u5bf9\u8584\u819c\u6750\u6599\u7684\u5f71\u54cd\u56e0\u7d20\u6709\u54ea\u4e9b\u5462\uff1f","datePublished":"2024-04-08T02:51:43+00:00","dateModified":"2024-05-28T02:14:16+00:00","mainEntityOfPage":{"@id":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/effect-of-sputtering-coating-on-thin-films\/"},"wordCount":9,"commentCount":0,"publisher":{"@id":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/#organization"},"image":{"@id":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/effect-of-sputtering-coating-on-thin-films\/#primaryimage"},"thumbnailUrl":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/04\/d4bd772da2d2f10b5d0b7af283bfaf3.png","articleSection":["\u5e94\u7528"],"inLanguage":"de","potentialAction":[{"@type":"CommentAction","name":"Comment","target":["https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/effect-of-sputtering-coating-on-thin-films\/#respond"]}]},{"@type":"WebPage","@id":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/effect-of-sputtering-coating-on-thin-films\/","url":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/effect-of-sputtering-coating-on-thin-films\/","name":"\u6e85\u5c04\u9540\u819c\u5de5\u827a\u5bf9\u8584\u819c\u6750\u6599\u7684\u5f71\u54cd\u56e0\u7d20\u6709\u54ea\u4e9b\u5462\uff1f - \u6e2f\u6e7e\u534a\u5bfc\u4f53","isPartOf":{"@id":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/#website"},"primaryImageOfPage":{"@id":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/effect-of-sputtering-coating-on-thin-films\/#primaryimage"},"image":{"@id":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/effect-of-sputtering-coating-on-thin-films\/#primaryimage"},"thumbnailUrl":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/04\/d4bd772da2d2f10b5d0b7af283bfaf3.png","datePublished":"2024-04-08T02:51:43+00:00","dateModified":"2024-05-28T02:14:16+00:00","description":"\u6e85\u5c04\u9540\u819c\u662f\u4e00\u79cd\u7269\u7406\u6c14\u76f8\u6c89\u79ef\u6280\u672f\uff08PVD\uff09\uff0c\u901a\u8fc7\u5229\u7528\u9ad8\u80fd\u7c92\u5b50\u675f\u5c06\u56fa\u4f53\u9776\u6750\u6599\u51fb\u6253\u5e76\u6e85\u5c04\u5230\u57fa\u5e95\u8868\u9762\u5f62\u6210\u8584\u819c\u7684\u8fc7\u7a0b\u3002\u6e85\u5c04\u9540\u819c\u6d89\u53ca\u76f4\u6d41\u3001\u5c04\u9891\u6216\u8109\u51b2\u76f4\u6d41\u7535\u6e90\u4f9b\u80fd\uff0c\u4ee5\u53ca\u78c1\u573a\u8f85\u52a9\u7b49\u591a\u79cd\u65b9\u5f0f\uff0c\u53ef\u5b9e\u73b0\u5bf9\u8584\u819c\u539a\u5ea6\u3001\u6210\u5206\u548c\u7ed3\u6784\u7684\u7cbe\u786e\u63a7\u5236\u3002","breadcrumb":{"@id":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/effect-of-sputtering-coating-on-thin-films\/#breadcrumb"},"inLanguage":"de","potentialAction":[{"@type":"ReadAction","target":["https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/effect-of-sputtering-coating-on-thin-films\/"]}]},{"@type":"ImageObject","inLanguage":"de","@id":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/effect-of-sputtering-coating-on-thin-films\/#primaryimage","url":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/04\/d4bd772da2d2f10b5d0b7af283bfaf3.png","contentUrl":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2024\/04\/d4bd772da2d2f10b5d0b7af283bfaf3.png","width":1920,"height":1440},{"@type":"BreadcrumbList","@id":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/insight\/application\/effect-of-sputtering-coating-on-thin-films\/#breadcrumb","itemListElement":[{"@type":"ListItem","position":1,"name":"\u9996\u9875","item":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/"},{"@type":"ListItem","position":2,"name":"\u6e85\u5c04\u9540\u819c\u5de5\u827a\u5bf9\u8584\u819c\u6750\u6599\u7684\u5f71\u54cd\u56e0\u7d20\u6709\u54ea\u4e9b\u5462\uff1f"}]},{"@type":"WebSite","@id":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/#website","url":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/","name":"Harbour\u6e2f\u6e7e\u534a\u5bfc\u4f53","description":"Greater China","publisher":{"@id":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/#organization"},"potentialAction":[{"@type":"SearchAction","target":{"@type":"EntryPoint","urlTemplate":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/?s={search_term_string}"},"query-input":"required name=search_term_string"}],"inLanguage":"de"},{"@type":"Organization","@id":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/#organization","name":"\u6e2f\u6e7e\u534a\u5bfc\u4f53","url":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/","logo":{"@type":"ImageObject","inLanguage":"de","@id":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/#\/schema\/logo\/image\/","url":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2023\/03\/cropped-cropped-cropped-\u6e2f\u6e7e\u534a\u5bfc\u4f53-logo.png","contentUrl":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/wp-content\/uploads\/2023\/03\/cropped-cropped-cropped-\u6e2f\u6e7e\u534a\u5bfc\u4f53-logo.png","width":380,"height":60,"caption":"\u6e2f\u6e7e\u534a\u5bfc\u4f53"},"image":{"@id":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/#\/schema\/logo\/image\/"}},{"@type":"Person","@id":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/#\/schema\/person\/43ad5264cbf98ccd5ec1fbd4f6c3b0e5","name":"jeff5829","image":{"@type":"ImageObject","inLanguage":"de","@id":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/#\/schema\/person\/image\/","url":"https:\/\/secure.gravatar.com\/avatar\/07276a17cfc0fa45dca16dd680ca6060143a60e8f4bd15c2584de1fdcec39601?s=96&d=mm&r=g","contentUrl":"https:\/\/secure.gravatar.com\/avatar\/07276a17cfc0fa45dca16dd680ca6060143a60e8f4bd15c2584de1fdcec39601?s=96&d=mm&r=g","caption":"jeff5829"},"url":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/author\/jeff5829\/"}]}},"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/7571","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/wp-json\/wp\/v2\/users\/3"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=7571"}],"version-history":[{"count":19,"href":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/7571\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":7956,"href":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/7571\/revisions\/7956"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/wp-json\/wp\/v2\/media\/7572"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=7571"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=7571"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.nanofab.com.cn\/de\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=7571"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}